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第5章 电容式传感器精要
各种电容式差压变送器外形 各种电容式压力变送器外形(续) (参考丹东长隆 自控有限公司 资料) 法兰 各种电容式压力变送器外形(续) 5.4 电容式传感器的测量电路 5.4.1 调频电路 L——振荡回路的电感; C——振荡回路的总电容,C=C1+C2+Cx,其中C1为振荡回路固有电容, C2为传感器引线分布电容, Cx=C0±ΔC为传感器的电容。 当被测信号为0时,ΔC=0,则C=C1+C2+C0,所以振荡器有一个固有频率f0, 其表示式为 (5-30) 当被测信号不为0时,ΔC≠0, 振荡器频率有相应变化, 此时频率为 (5-31) (5-32) 如果传感器是一只平板电容,则Cx=εA/d,代入式(5-32),可得 (5-33) 5.4.2 运算放大器式电路 输出电压与电容极板间距成线性关系,保证了变极距型电容传感器的线性。 反相放大电路 反馈元件是传感器电容Cx C是固定电容 电源电压Ui 特点: 解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题 要求Zi及放大倍数足够大 为保证仪器精度,还要求电源电压的幅值和固定电容稳定 由于Cx变化小,所以该电路实现起来困难 正负半周分析: 正半周:C1充电,电流顺时针; C2放电,电流逆时针 负半周: C2充电,电流逆时针; C1放电,电流顺时针 若C1 = C2,则电流抵消,若C1 ≠C2,则RL有信号输出 几点说明: 该电路电源频率Mhz级,电源电压几十伏,电源的稳定性对输出直接产生影响。 当电容以PF级变化时,输出以V级变化。 5.4.3 二极管双T形交流电桥 供电电压是幅值为±U、周期为T、占空比为50%的方波。 5.4.4 环形二极管充放电法 T1时间内由A点向C点q1=Cd(E2-E1) T2时间内由C点向A点q2=Cx(E2-E1) 设方波的频率f=1/T0, 则由C点流向A点的平均电流为I2=Cxf(E2-E1), 而从A点流向C点的平均电流为I3=Cdf(E2-E1), 流过此支路的瞬时电流的平均值为 (5-36) 式中, ΔE为方波的幅值,ΔE=E2-E1。 令Cx的初始值为C0,ΔCx为Cx的增量,则Cx=C0+ΔCx, 调节Cd=C0则 (5-37) C1充电,VF 。当VF Ur时,D=0 Q=0,信号反转,Q=1。C1经D1放电。 C2充电,VG 。当VG Ur时,D=0 Q=0,Q=1,再次反转。C2经D2放电。 设双稳态触发器输出高电平U1,低电平0 B 双稳态触发器 A1 A2 R1 R2 Q Q- A F G D D- Ur VD1 VD2 Cx1 Cx2 uAB 当d1=d0-Δd, d2=d0+Δd时,有 5.4.5 脉冲宽度调制电路 图5-16 脉冲宽度调制电路电压波形 容栅式传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展起来的,具有电容式传感器的优点的同时,又有多极电容带来的平均效应。 1、测量原理 5.5 容栅式传感器 n-动栅的栅极数 a,b-栅极片长度和宽度 数显卡尺 公/英制转换, 任意位置置零。深度测杆 公/英制转换, 任意位置置零。绝对测量和相对测量相互转换。深度测杆,报警功能 数显内径卡尺 高度尺 公/英制转换, 任意位置置零。绝对测量和相对测量相互转换。深度测杆,报警功能 公/英制转换, 任意位置置零。绝对测量和相对测量相互转换。深度测杆,报警功能 电容传感器的特点 优点: 1、温度稳定性好:自身发热极小,电容值与电极材料无关,有利于选择温度系数低材料。 如电极的支架选用陶瓷材料,电极材料选用铁镍合金,近年来又采用在陶瓷或石英上进行喷镀金或银的工艺。 2、结构简单,适应性强:可以做的非常小巧。能在高温,低温,强辐射,强磁场等恶劣环境中工作。 3、动态响应好:可动部分可以做的很轻,很薄,固有频率能做的很高。动态响应好。可测量振动、瞬时压力等。 4、可以实现非接触测量,具有平均效应:非接触测量回转工件的偏心、振动等参数时,由于电容具有平均效应,可以减小表面粗糙度对测量的影响。 5、耗能低 缺点: 1、输出阻抗高,负载能力差:电容值一般为几十到几百皮法,输出阻抗很大,易受外界的干扰,对绝缘部分的要求较高(几十兆欧以上)。 2、寄生电容影响大:由于电容传感器起的初始电容值一般较小,而连接传感器的引线电缆电容(1~2m导线可达到800pF),电子线路杂散电容以及周围导体的“寄生电容”却较大。这些电容一般是随机变化的,将使仪器工作不稳定,影响测量精度。因此,在设计和制作时要采取必要的有效的措施减小寄生电容的影响。 一、温度对电容式传感器的影响 环境温度的改变将引起电容式变换器各
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