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扫描探针显微镜培训教程 本原纳米仪器有限公司 800-830-3560 扫描探针显微镜Scanning Probe Microscope 世界首台扫描隧道显微镜于1981年由Binning及 Rohrer在IBM位于瑞士苏黎世的实验室发明； 1986年，Binning及Rohrer获得诺贝尔物理学奖； 原子力显微镜于1986年发明； 世界首台扫描隧道显微镜 中国首台扫描隧道显微镜，1988年 中国首台原子力显微镜，1992年 2 扫描探针显微镜家族 扫描探针显微术：使用一个尖锐的探针在样品表面扫描，在扫描过程中记录 探针与样品的相互作用，从而得到样品的表面信息。 扫描隧道显微镜Scanning Tunneling Microscope (STM) 原子力显微镜Atomic Force Microscope (AFM) ■ 接触模式Contact Mode AFM ■ 轻敲模式Tapping Mode AFM ■ 相移成像Phase Imaging ■ 抬起模式Lift Mode 横向力显微镜/ 摩擦力显微镜Lateral Force Microscope (LFM) 磁力显微镜Magnetic Force Microscope (MFM) 静电力显微镜 Electric Force Microscope (EFM) 力测量 近场光学显微镜 Near-field Scanning Optical Microscope (SNOM) …… 3 压电效应与压电扫描器 压电材料：根据两端所加的电压的大小，可以伸长或缩短； 伸长或缩短的大小，与外加的电压成正比； 加1V电压所变化的长度，称为压电材料的伸缩系数。 扫描器：核心部件为压电陶瓷管； 通过控制加在扫描器上的X 、Y 电压，扫描器可在水平面上运动（扫描） 通过控制加在扫描器上的Z 电压，扫描器可在垂直方向上伸缩（获得形貌） 4 隧道效应Tunneling Effect 5 扫描隧道显微镜的基本原理 − c⋅ S 隧道效应： I V e ~ T Bias IT ： 隧道电流 VBias: 探针与样品之间的偏置电压 C： 常数 S： 针尖与样品之间的距离 6 STM的扫描模式 恒高模式：无反馈控制。通过记录隧道电流的变化，获得样品表面形貌。 恒流模式：有反馈控制。反馈系统通过控制探针上下运动，保持隧道电 流恒定；探针的运动轨迹即样品的表面形貌。 7