ITO刻蚀废液中NO3-的还原方法探讨.pdf

第42卷第 11期 应 用 化 工 Vo1．42No．11 2013年 11月 AppliedChemicalIndustry NOV．2013 ITO刻蚀废液 中NO3的还原方法探讨 潘海娇，周艺峰，聂王焰，宋林勇 (安徽大学化学化工学院绿色高分子材料安徽省重点实验室，安徽 合肥 230601) 摘 要：对N03的还原做了初步探讨 ，结果表明铜和过氧化氢可以对其还原，其 中用过氧化氢作还原剂生成产物 是水，对环境友好无污染。硝酸根离子的浓度采用紫外可见分光光度法测定，实验表明该方法快速简便、准确度 高、精密度好。 关键词：硝酸根离子；氧化还原；H02；Cu 中图分类号 ：TQ031．6 文献标识码：B 文章编号：1671—3206(2013)11—2123一o4 TheresearchofnitrateionreductioninIT0 wastewater PANHai-fidO，ZHOUYi卡ng，NIEWang—yah，SONGLin一了ong (AnhuiProvinceKeyLaboratoryofEnvironment—FriendlyPolymerMaterials，CollegeofChemistry＆ ChemicalEngineering，AnhuiUniversity，Hefei230601，China) Abstract：Discussingthereductionofnitriteion，theresultsshowthathydrogenperoxideandCucanre— storenitricacid．WhenH202isusedasreductant，theproductiswaterandthereisnopollutiontotheen- vironment．ThemethodfordeterminationofnitrateionconcentrationwithUV detection．Thismethodpro— videsaconvenient，accuracyandgoodprecisionofrdeterminationofhteconcentrationofnitrateion． Keywords：nitrateion；reduction；H202；Cu ITO刻蚀液被广泛应用于平板液晶显示器行 l 实验部分 业 中的刻蚀和清洗过程当中，在此过程中会产生 1．1 试剂与仪器 大量的废酸，主要成分为硝酸、硫酸和醋酸等。这些 硝酸、过氧化氢、浓硫酸、冰醋酸均为分析纯；铜 废酸液有极强的腐蚀性，若不经处理或处理未达标 片(Cu)，5N，含量99．999％；刻蚀废液(主要成分是 就排放到环境中会对水体造成极大的污染 ，硝酸中 H2SO410％，HNO32．9％，CH3COOH2．9％)。 含有的氮可造成水体的富营养化，浮游藻类迅速繁 UV．1800型紫外可见分光光度计；84—1A磁力 殖，形成水华或赤潮，而且也造成了资源的极大浪 搅拌器；DF．101Z型集热式恒温加热磁力搅拌器。 费 ]。为避免酸洗液的酸污染，目前 ITO刻蚀废液 1．2 实验方法 1．2．1 H202还原法 移取2份5．00mLHNO3和 的处理方法为：先使用石灰和片碱将废酸中和处置， 5．00mLH20 于50mL的烧杯中，第一组不滴加 然后用板框压滤滤去滤渣，滤渣进入填埋场进行安 VC13溶液，第二组滴加0．ImL0．Imol／L的VCI3 全填埋。滤液进入污水