注射超声喷雾热分解方法制备ZnO薄膜研究.pdfVIP

北京石油化工学院学报 第 l9卷 第 2期 VolI19 NO．2 JournalofBeijingInstituteof 2011年 6月 Jun．2011 Petro—chemicalTechnology 注射超声喷雾热分解方法制备 ZnO薄膜研究* 朱 江 佟 帅 高德文 张志乾 颜炳嘉 孙 凯 武光明 (北京石油化工学院，北京 102617) 摘 要 以乙酸锌为原料加水合成 ZnO前驱液 ，利用注射超声喷雾热分解方法在玻璃衬底 上成功制备ZnO薄膜。通过正交选择液体注射速度、注射量、衬底温度、退火温度为实验要素，通过 XRD、SEM 、可见光透过率分析优化 的制备条件为 ：液体注射速度为 0．2mL／min，注射量为 3mL，衬底 温度为450℃，退火温度为 500。C。制备的ZnO薄膜透光率达到85 。新的制备薄膜装置采用注射超 声雾化手段 ，克服其雾化不均 问题 。 关 键 词 注射 ；超声 ；喷雾热分解 ；ZnO薄膜 中图法分类号 TB304．055 ZnO(氧化锌)薄膜是一种 Ⅱ～Ⅵ族宽禁带 析纯)，相对分子质量为 219．5。取 2．195g乙 半导体化合物薄膜 ，在室温下拥有 3．3eV的禁 酸锌 固体，加入去离子水至 100mL，经磁力搅 带宽度和 60meV的激子束缚能¨1]，本征 ZnO 拌 30min后超 声清洗 10min，滤去其中的杂 的光致发光尤其是可见发射 的研 究 已经很 质 ，即可得到 0．1mol／I的乙酸锌溶液。 多 ，这使其在光电器件领域的应用受到广泛 1．2 注射超声喷雾热分解方法制备薄膜设备 重视。制备 ZnO薄膜 的方法很多如 MOCVD、 注射超声喷雾热分解制备薄膜装置如图 1 磁控溅射、激光沉积 7]，但 由于这些方法设备 所示 ，装置 由七大部分组成。 昂贵，成本较高，从而使溶胶凝胶法、喷雾热分 解法等廉价制备薄膜方法得到迅速发展lg。 。 喷雾热分解方法制备薄膜通常采用的雾化方法 有 ：压缩气体雾化法、超声雾化法等，存在的问 题是雾化过程 中轻组分先雾化 ，造成粘度、浓 度、组分比例等前后不均。形成的薄膜成分也 前后不一致。 采用注射式超声喷雾方法设计制作了薄膜 制备设备，轻重组分 同时被注射雾化，从而解决 图 1 注射超声喷雾热分解制备薄膜装置 雾化不均问题。通过 ZnO薄膜 的制备新装置 探索制备薄膜的优化工艺 ，研究 ZnO薄膜 的透 (1)液体注射系统。由注射泵和针管构成， 光性能 。 由单片机控制 电机注射速度 、注射总量等。本 设计直接将溶液注射至超声喷头内，以避免溶 1 实验部分 液在雾化和在载气输送过程 中发生雾化不均 1．1 ZnO前驱液的配置 问题 。 (2)气体辅助系统。由氧气瓶 、减压 阀、流 乙酸锌 (北京盖利精细化学品有限公司 ，分 量计组成进气部分，主要作用是对超声喷雾束 收稿 日期：201i-02—21 进行扩散。在喷雾过程中，通人的氧气能使雾 *北京 市教 育 委 员 会 科 技发 展 计 划