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注射超声喷雾热分解方法制备ZnO薄膜研究
北京石油化工学院学报
第 l9卷 第 2期 VolI19 NO.2
JournalofBeijingInstituteof
2011年 6月 Jun.2011
Petro—chemicalTechnology
注射超声喷雾热分解方法制备 ZnO薄膜研究*
朱 江 佟 帅 高德文 张志乾 颜炳嘉 孙 凯 武光明
(北京石油化工学院,北京 102617)
摘 要 以乙酸锌为原料加水合成 ZnO前驱液 ,利用注射超声喷雾热分解方法在玻璃衬底
上成功制备ZnO薄膜。通过正交选择液体注射速度、注射量、衬底温度、退火温度为实验要素,通过
XRD、SEM 、可见光透过率分析优化 的制备条件为 :液体注射速度为 0.2mL/min,注射量为 3mL,衬底
温度为450℃,退火温度为 500。C。制备的ZnO薄膜透光率达到85 。新的制备薄膜装置采用注射超
声雾化手段 ,克服其雾化不均 问题 。
关 键 词 注射 ;超声 ;喷雾热分解 ;ZnO薄膜
中图法分类号 TB304.055
ZnO(氧化锌)薄膜是一种 Ⅱ~Ⅵ族宽禁带 析纯),相对分子质量为 219.5。取 2.195g乙
半导体化合物薄膜 ,在室温下拥有 3.3eV的禁 酸锌 固体,加入去离子水至 100mL,经磁力搅
带宽度和 60meV的激子束缚能¨1],本征 ZnO 拌 30min后超 声清洗 10min,滤去其中的杂
的光致发光尤其是可见发射 的研 究 已经很 质 ,即可得到 0.1mol/I的乙酸锌溶液。
多 ,这使其在光电器件领域的应用受到广泛 1.2 注射超声喷雾热分解方法制备薄膜设备
重视。制备 ZnO薄膜 的方法很多如 MOCVD、 注射超声喷雾热分解制备薄膜装置如图 1
磁控溅射、激光沉积 7],但 由于这些方法设备 所示 ,装置 由七大部分组成。
昂贵,成本较高,从而使溶胶凝胶法、喷雾热分
解法等廉价制备薄膜方法得到迅速发展lg。 。
喷雾热分解方法制备薄膜通常采用的雾化方法
有 :压缩气体雾化法、超声雾化法等,存在的问
题是雾化过程 中轻组分先雾化 ,造成粘度、浓
度、组分比例等前后不均。形成的薄膜成分也
前后不一致。
采用注射式超声喷雾方法设计制作了薄膜
制备设备,轻重组分 同时被注射雾化,从而解决 图 1 注射超声喷雾热分解制备薄膜装置
雾化不均问题。通过 ZnO薄膜 的制备新装置
探索制备薄膜的优化工艺 ,研究 ZnO薄膜 的透 (1)液体注射系统。由注射泵和针管构成,
光性能 。 由单片机控制 电机注射速度 、注射总量等。本
设计直接将溶液注射至超声喷头内,以避免溶
1 实验部分 液在雾化和在载气输送过程 中发生雾化不均
1.1 ZnO前驱液的配置 问题 。
(2)气体辅助系统。由氧气瓶 、减压 阀、流
乙酸锌 (北京盖利精细化学品有限公司 ,分
量计组成进气部分,主要作用是对超声喷雾束
收稿 日期:201i-02—21 进行扩散。在喷雾过程中,通人的氧气能使雾
*北京 市教 育 委 员 会 科 技发 展 计 划
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