爱发科HELIOT_700系列说明书.pdf

No.SK00-7943-BI-014-07 检漏仪 HELIOT 700 系列 model 701,702A,702B,704 操作说明书 使用本产品前，请务必阅读。 此外，请妥善保管以备使用。 本操作说明书所记制造编号是下列编号以及软件版本后的产品编号。 制造编号 0001～ 软件版本 14161～ Components Div. ULVAC，Inc. 2500 HAGIZONO, CHIGASAKI, KANAGAWA, 253-8543 JAPAN http://www.ulvac.co.jp/ 安全上的注意点 截断电源 若进行检查或者更换零部件等，在需要取下外壳面板时，请截断配电板的1次侧方面的电源，在 注 意 从主机取下本机器的电源线的状态下进行操作。因为本机器内部有使用高压电的地方，所以有触 电等危险以及损坏机器的可能性。 完全停止 复合分子泵，在停止操作后，由于惯性还要高速转动约3分钟。 注 意 进行检查或者更换零部件时，请等复合分子泵完全停止之后实施。可能对人体有危险以及损坏机 器。 分析管高温 注 意 离子源周围的分析管，在刚刚停止后也是温度非常高。进行检查或者更换零部件时，请至少在停 止5分钟后进行，之后也要十分注意。有烫伤危险以及损坏机器的可能性。 电磁阀高温 注 意 电磁阀的线圈部分，在刚刚停止后也是温度非常高。进行检查或者更换零部件时，请至少在停止 5分钟后进行，之后也要十分注意。有烫伤危险以及损坏机器的可能性。 油回转泵高温(model 701W1,model 704W2) 注 意 泵在刚刚停止后，温度非常高。进行检查或者更换零部件时，请至少在停止5分钟后进行，之后 也要十分注意。有烫伤