专题报告---俊杰final-Studyonthethermalconductivity.PDFVIP

報告題名： 金屬氧化膜熱傳導係數量測之研究 Study on the thermal conductivity measurements of metal oxide films 作者：方俊傑 系級：電機系四年甲班 學號：D9151300 開課老師：田春林 教授 課程名稱：薄膜光學 開課系所：電機所光電組 開課學年： 93 學年度第 2 學期 金屬氧化膜熱傳導係數量測之研究 摘要 本專題研究報告提出一種改良式的金屬氧化膜熱傳導係數之量 測方法，此方法結合自製的薄膜熱傳導量測儀及修定過的熱傳導理 論，量測薄膜熱傳導係數。量測的結果顯示，氧化矽 (SiO2) 、氧化鈦 (TiO ) 、氧化鋁(Al O ) 、氧化鉭(Ta O )及氧化鈮 (Nb O ) 等金屬氧化膜 2 2 3 2 5 2 5 的熱傳導係數，其值分別為 0.45(W/mK) 、0.59(W/mK) 、0.38(W/mK) 、 0.47(W/mK) 、0.69(W/mK) ，最後將量測數據與相關文獻資料作比較， 其誤差值在10%以內。 本專題研究已成功地研發一套薄膜熱傳導係數量測系統，其優點 為非破壞性的量測、價格便宜、操作簡便、量測速度快。尤其是系統 改善了因接觸面不穩定所造成的誤差，進而提升了量測系統之靈敏度 與精確度，這對於金屬氧化膜熱傳導性質的研究上，是極為有用的。 關鍵字：熱傳導，金屬氧化膜，熱比較測定法 I 逢甲大學學生報告 ePaper(2005 年) 金屬氧化膜熱傳導係數量測之研究 目錄 摘要 I 目錄 II 圖目錄 IV 表目錄V 符號說明 VI 第一章 緒論 1 1-1研究動機 1 1-2研究目的 1 1-3研究方法 2 1-4論文架構 2 第二章 熱傳導基本理論 4 2-1 原理 4 2-2 熱傳導分析模式 5 第三章 熱傳導量測技術 9 3-1 文獻回顧 9 3-1-1 3ω法 9 3-1-2 特徵微結構法 11 3-1-3聲光法 12 II 逢甲大學學生報告 ePaper(2005 年) 金屬氧化膜熱傳導係數量測之研究 3-1-4 熱比較測定法(thermal comparator) 14 第四章 實驗設備及量測 20 4-1 蒸鍍系統20 4-1-1 真空系統 20 4-1-2 電子槍蒸鍍系統 21 4-1-3 離子源輔助系統 21 4-1-4監控系統 21 4-2 實驗架構 21 4-2-1實驗量測 22 第五章 結果與討論 25 5-1 金屬氧化膜熱傳導係數量測結果25 5-2 溫度比例的影響 28 5-3 接觸面的影響 28