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2017-05-13 发布于广东
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基于MEMS技术的集成温湿传感器研制.pdf

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基于MEMS技术的集成温湿传感器研制.pdf

25 4 2004 8 MEMS 方　震　武　宇　赵　湛　张博军 ( 100080) M EM S , , , , , MEMS Research on Integrated Temperature and Humidity Sensor Based on MEMS Fang ZhenWu YuZhao ZhanZhang Bojun (S tate K ey L aboratory of T ransd ucer T echnology , Ch ines e A cademy of Sc iences,B eij ing , 100080 , Ch ina) AbstractIntegrated temperature and humidity sensor ased on M EMS has the advantages of less weight, small , , , , , . size low cost easy integrated and highly advanced apparatus of identity relia ility easy production It analyzes the feasi ility of thermal conductivity method used to measure humidity, then analyzes structure of the integrated temperture and humidity sensor, and provides the detailed measuring means. It primarily analyzes measuring re- sult adout the part of humidity and verifies the ex cellence performance of the integrated temperture and humidity, sensor. Key wordsMEMSIntegrated temperature and humidity sensor , [ 2, 3] 1 , MEMS , , , 300 mA , , 10mA , , , 350 , MEMS , , 50ms , : , , , , , , 2 , MEMS