一种基于铁基非晶态合金压磁效应的膜盒式压力传感器.pdfVIP

第24卷 第4期 传 感 技 术 学 报 Vo1．24 No．4 2011年 4月 CHINESEJOURNAL OFSENSORSANDACTUATORS Apr．20l1 An Aneroid PressureSensorBased on theM agnetoelasticityEffectof Fe-BaseAmorphousAlloy Ribbon SillYanping ，ZHOUQingui，ZANGYong (DepartmentofMechanicalEngineering，HuaihaiInstituteofTechnology，LianyungangJiangsu222005，China) Abstract：A new kindofaneroidpressuresensorbasedon themagnet0elasticityeffectofFe—baseamorphousalloy ribbonwasdeveloped．Atfirstitsoperationprinciple，structure，outputcharacteristicandthechoiceofsomemajor parameterwerediscussed．Secondlythroughthepressureexperiment，thesensor’Sstaticcharacteristicofaswellas theinfluenceofmagneticfieldstrengthontheoutputwasanalyzed．Theexperimentalresultshowsthesensor’Sthe maximum linearityerroris1．29％ F．S，themaximum repetitiveerror1．56％ F．S，andthemaximum sensitivity is 0．3675mv ／kPa．Inadditionthesensorhassomecharacteristicsuchas，goodtemperaturestability，reliability，simp- lerstructure，low costsandextensivemeasuringrange． Keywords：pressuresensor；magnet0elasticityeffect；Fe—baseamoprhousalloyribbon；pressuretest；aneroid EEACC：3120W ；7320Z doi：10．3969／i．issn．1004—1699．2011．04．007 一 种基于铁基非晶态合金压磁效应的膜盒式压力传感器木 石延平 ，周庆贵 ，臧 勇 (江苏淮海工学院机械系，江苏 连云港 222005) 摘 要 ：开发了一种基于Fe基非品态合金薄带压磁效应的膜盒式压力传感器。首先，论述了这种传感器的结构、T作原理、 输出特性以及主要参数的选择。然后通过试验，分析了传感器的静态特性以及磁场强度对输出的影响。试验结果表明，本文 设计的传感器最大线性误差为 1．29％F．S，最大不重复误差为 1．56％F．S，最大灵敏度为 0．3675mV／kPa。另外，这种传感器结 构简单，温度稳定性好，工作可靠 ，成本低廉 ，测压范围宽。 关键词 ：压力传感器；压磁效应；Fe基非品态合金薄带；压力试验；膜盒 中图分类号 ：TP212．1 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004-1699(2011)04—0503-05 目前 ，国内外压力传感器的主流产品是半导体压 1 结构与原理 阻式，这种传感器虽然有较高的测量精度和灵敏度， 但由于半导体材料本身的性能受温度的影响比较大， 如图1所示，压磁膜盒式压力传感器主要 由膜 通常要进 行温度漂移 补偿 ，从 而提 高 了制造 成 盒 、非品态合金薄带环 、激磁线圈、测量线圈等组成。 本 ¨j。另外，为了测量更低 的压力，