一种纳米纤维压电式压力传感器的分析与制作.pdfVIP

124 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 2016年 第35卷第 1期 DOI：10．13873／J．1000-9787(2016)01-0124-03 一 种纳米纤维压电式压力传感器的分析与制作 张久超 ，谭晓兰，康 杰 (北方工业大学 机械与材料工程学院，北京 100144) 摘 要：为研究多铁纳米纤维在压力传感器上的应用，基于多铁纳米纤维敏感材料，利用 MEMS技术、静 电纺丝技术，设计制作了一种压电式压力传感器。通过对单根纳米纤维压电特性的有限元分析，得出纳米 纤维直径越小，长度越大，即电极间距越大，纤维端电势越高，灵敏度越好。设计了传感器的结构尺寸和工 艺过程，制作出了传感器样片。分析了在深硅刻蚀中掩蔽层保护出现的问题，提出了可行的工艺方法。 关键词：压电式压力传感器；纳米纤维；微机电系统；静电纺丝 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2016)01-0124-03 Analysisandfabricationofanano-fiberpiezoelectric pressuresensor ZHANGJiu-chao，TAN Xiao—lan，KANGJie (CollegeofMechanicalandMaterialsEngineering，NorthChinaUniversityofTechnology，Beijing100144 ，China) Abstract：Inordertostudyapplicationofmuhiferroicnano—fiberinpressuresensor，apiezoelectricpressure sensorbased on sensitive materialsofmultiferroicnano．fibersiSdesigned by usingmicro．electro．mechanical— systems(MEMS)technologyandelectrospinningtechnology．Piezoelectricpropertiesofsinglenano—fiberare analyzedbyfiniteelementanalysissoftware．anditiSderivedthatthesmallerthediameterofnano—fibersiS．and thelongerthelengthis，thatis，thelargerdistancebetweenelectrodesis，thehigherthepotentialatfiberendand thesensitivityare．The structure size and processflow ofsensorare designed，and then a sample sensoris fabricated．Themaskinglayerprotection problemsare analyzed duringdeep silicon etching，feasibleprocessis proposed． Keywords：piezoelectricpressuresensor；nano-fiber；MEMS；eleetrqspinning 0 引 言 压电特性 ，设计了多铁纳米纤维压电式压力传感器的结构 压力传感器是工业控制、临床医疗、航天、军事等领域 尺寸参数和工艺流程，并制作了传感器样片。 中应用最广泛的传感器之一 。基于MEMS技术的压力 1 多铁纳米纤维压电式压力传感器设计 传感器具