四电极电化学MEMS加速度传感器仿真.pdfVIP

18 传感器与微系统(TmnsducerandMicrosystemTechnologies) 2014年 第33卷第 1期 四电极电化学MEMS加速度传感器仿真 苏荣涛 ，李 伟 ，车录锋 (1．中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室，上海200050； 2．中国科学院大学。北京 100039) 摘 要：基于溶液相对于电极的运动会使电极附近因电势差作用而产生的离子浓度梯度发生改变 ，从而 使电极电流发生变化等电化学原理，建立一种置于碘(I)和碘化钾(KI)混合水溶液环境中的阳极一阴极一 阴极一阳极(ACCA)四电极阵列传感单元模型。通过理论分析，该传感单元可以局部电解液为惯性质量， 利用电解液中带电离子相对于电极的运动来产生并输出附加电流；进一步的建模仿真证明：在一定的加速 度范围内(0o0．149m／s)，附加电流的大小同加速度呈正比关系，故可以将此电流放大输出，从而实 现对加速度大小的表征。可利用MEMS工艺制作 ，并封装此传感单元成为加速度传感器。 关键词：电化学加速度传感器 ；ACCA四电极阵列 ；Comsol仿真；微机电系统 中图分类号：TH824 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2o14)01-0018-04 Simulati00nof—[OUr-eelleeccttrrooadeeeelleeccttrroocchlleemmiiccaallMMEEM S 1 ． ● acceleraU0n SenS0r SU Rong．tao ．U Wei ，CHE Lufeng (1．StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology，Shangh~InstituteofMicrosystemsand InformationTechnoloyg ，ChineseAcademyofSciences，Shanghm 200050，China； 2．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：A sensingunitmodelwithananode—cathode-cathode—anode(ACCA)four—electrodearrayplacedin mixedsolutionenvironmentofKIandI2isestablished based onelectrochemicalprinciplethatachangingion concentrationgradientoftheelectrolyteresultingfrom therelativemotionofelectrolyteandelectrodescanchange electrodecurrents．Throughtheoreticalanalysis，additional currentcanbeproducedbythesensingcellbasedon relativemotionofpa~ialelectrolyte(1iquidinertialmass)andelectrodes．Thisadditionalcurrentisproportionalto acceleration(0 0．149m／s)indicatedbyfurthermodelingnadsimulationandthuscanbeoutputafter ampli~ingtocharacterizetheacceleration．TheprocessofMEMScanbeusedtofabricateandpackagethesen