第二章位移检测传感器之光栅传感器.pptVIP

第三节 大位移检测传感器 二、光栅位移传感器 二、光栅式位移传感器 光栅式位移传感器有测量线位移的长光栅和测量角位移的圆光栅。 光栅式位移传感器的分类 1 测量线位移的长光栅 2 测量角位移的圆光栅 由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅，如图所示。 用玻璃制成的光栅称为透射光栅，它是在透明玻璃上刻出大量等宽等间距的平行刻痕，每条刻痕处是不透光的，而两刻痕之间是透光的。 光栅的刻痕密度一般为每厘米10、25、50、100线。刻痕之间的距离为栅距W。 根据莫尔条纹效应设计光栅传感器。 若光栅栅距为W，两个相邻莫尔条纹的间距为BH，（即莫尔条纹中两条暗纹或两条亮纹之间的距离）则有 ——运动方向：当两个光栅沿刻线垂直方向作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互垂直）。光栅运动方向改变，莫尔条纹的运动方向也作相应改变。 ——莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例：光栅每移动一个栅距W，莫尔条纹移动一个条纹间距BH； ——莫尔条纹具有位移放大作用：莫尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角之间关系为BH= W/θ,θ越小， 则BH越大。这相当于把栅距 W放大了 1/θ倍。如对于25线/mm长光栅而言，W=0.04mm,若θ=0.016rad，则 BH =2.5mm (这样，可把肉眼看不见的光栅位移变成为清晰可见的莫尔条纹移动，可以用测量条纹的移动来检测光栅的位移。可以实现高灵敏的位移测量) ——当两个光栅沿刻线垂直方向作相对移动时，莫尔条纹的光强度随条纹移动近似按正弦规律变化。光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期。通过光电元件，可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号，如图所示。 ——莫尔条纹具有平均光栅误差的作用：莫尔条纹由大量的光栅栅线共同形成，所以对光栅栅线的刻划误差有平均作用。通过莫尔条纹所获得的精度可以比光栅本身栅线的刻划精度还要高。 当两个光栅沿刻线垂直方向作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互垂直）。光栅每移动一个栅距W，莫尔条纹移动一个条纹间距BH，通过测量莫尔条纹移过的数目，即可得出光栅的位移量。  光栅运动方向改变，莫尔条纹的运动方向也作相应改变。查看莫尔条纹的上下移动方向，即可确定主光栅左右移动方向. 莫尔条纹的光强度随条纹移动近似按正弦规律变化。光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期。 因此可根据莫尔条纹移动的条纹数和方向，测出光栅移动的距离和方向。光栅传感器就是根据这一原理，实现对位移的检测。 在作直线位移测量时，常把前面介绍的两块光栅作成一个标尺光栅和一个指示光栅。 标尺光栅是一个长条形光栅，光栅长度由所需量程决定。指示光栅较短，通常根据测量光学系统的需要而定，一般与光学系统物镜直径相同。 光栅条纹密度有25条/mm，50条/mm、100条/mm或更密，栅线长度一般为6～12mm。 由于采用不同形式的光栅，光学系统也各不相同，常采用的光学系统有： (1)透射式光路 (2)反射式光路 光源5发出的光线经准直透镜4变成平行光，入射到指示光栅3上，经过指示光栅3和标尺光栅2，再透射到光敏元件1上。 一般标尺光栅固定不动，而光源、指示光栅和光敏元件固定在被测位移体上，莫尔条纹的移动信号被光敏元件接收。每当亮带通过光敏元件时，有一个相应的电信号输出。 透射式光栅 反射式光栅 长光栅式位移传感器的特点 长光栅位移传感器的测长精度可达0.5～3?m (3000mm范围内)，分辨力可达0.1?m,可进行无接触测量 用两块刻线数目相同，切线圆半径分别为r1、r2的切向圆光栅同心放置，所产生的环形莫尔条纹如图所示 用两块刻线数目相同的径向圆光栅偏心放置，偏心量为e，这时形成不同曲率半径的圆弧形莫尔条纹如图所示 动光栅固定在转轴上，因此，可将轴旋转的角度量变换成莫尔条纹信号。通过光电转换元件，将莫尔条纹的变化转换成近似于正弦波形的电信号。测角精度可达0.15”，分辨力可达0.1”，甚至更高。 二、光栅式位移传感器 4. 圆光栅 (1)切向圆光栅 (2)径向圆光栅 课堂练习 4、在下述位移传感器中，适宜于测量大位移的传感器是（单一） 4、在下述位移传感器中，适宜于测量大位移的传感器是（单一） 1、若光栅式位移传感器的光栅栅距为0.04mm,栅线的夹角为1.80，则相邻莫尔条纹的间距为（单一） 11、若光栅式位移传感器的光栅栅距为0.04mm,栅线的夹角为1.80，则相邻莫尔条纹的间距为 （单一） 23、四倍细分式光栅式位移传感检测系统，当用4个光电元件接收莫尔条纹的移动信号时，分辨力为0.004/mm脉冲，则光栅的栅距为（