硅微陀螺仪闭环正交校正研究.pdfVIP

第26卷 第3期 传 感 技 术 学 报 Vo1．26 No．3 2013年 3月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Mar．2013 ResearchonClosed-LoopQuadratureCorrectionofSilicon M icromachinedGyroscope WANGPan，HUANGLibin ，LIHongsheng，NIYunfang (KeyLaboratoryofMicroInertialSensorsandAdvancedNavigationTechnologyoftheMin~tryofEducation SchoolofInstrumentEngineering，SoutheastUniversity，Nanjing210096，China) Abstract：Thispaperanalyzedthequadratureerrorofmemssilicongyroscope，basedonwhichaclosed—loopcircuit forerrorcorrectionwasdesigned．Quadratureerror，causedbythecoupledstructuralstiffnessbetweentheoperation modes，wascorrected and suppressed by the coupled electrostatic stiffnessgenerated by the quadrature error correctionelectrodes．Schematicofthe correction circuitwasdesignedand simulated usingSimulink，resultsof which showedthattheerrorwaseffectivelysuppressed．Besides，thedesignwasalsoverifiedbytheexperimentsand testsonthegyroscopeprototype．Thequadratureerrorhasbeenbasicallyeliminatedafterthequadraturecorrection． Theexperimentalworkshowsbiasstabilityisimprovedbymorethan100％ afterthequadraturecorrection． Keywords：detectivecircuit；quadraturecorrection；correctionelectrode；closed—loopcontrol EEACC：7630 doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2013．03．013 硅微陀螺仪闭环正交校正研究术 王 攀，黄丽斌 ，李宏生，倪云舫 (东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，南京 210096) 摘 要 ：针对硅微陀螺仪中正交误差的来源进行了分析，设计了一种基于正交校正电极的闭环控制回路。该电路通过正交 校正电极产生静电耦合刚度，以此来抵消结构耦合刚度，从而抑制正交误差。给出了设计方案的原理框图，利用 Simulink对整 个控制回路进行仿真，仿真结果表明该方案能够较好地抑制正交误差。对加入正交校正前后的硅微陀螺仪样机进行了测试 ， 实验结果表明加入闭环正交校正后，陀螺仪样机的正交误差信号已基本消除，零偏稳定性较校正前提高了一倍以上。 关键词 ：检测电路；正交校正；校正电极；闭环控制 中图分类号：TN911．71 文献标识码 ：A 文章编号：1004-1699(2013)03—0357—04 由于加工精度和材料残余应力等因素的影 该方法成本高，处理时间长，不适合大批量生产 。另 响_1J，硅微陀螺仪的驱动轴和检测轴不能完全垂 一 种方法是通过设计机械杠杆来减小正交误差 71，