硅微静电悬浮加速度计实验研究.pdfVIP

34 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2014年 第33卷 第3期 硅微静 电悬浮加速度计实验研究 张汉蒸 ，韩丰田 ，孙搏谦 ，马高印 (1．清华大学精密仪器系。北京 100084；2．北京航天控制仪器研究所，北京100039) 摘 要：硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合，在空间微重力环境下通过降低量 程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃一硅一玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量 、体硅加工工艺、 低量程的三轴硅微静电加速度计，分析了加速度计的力平衡回路特性。采用基于DSP的数字控制器，实 现了检测质量的六 自由度稳定悬浮。在大气环境下测试了静 电加速度计的性能。测试结果表明：加速度 计 轴的带宽为88．1Hz，量程为0．220g；y轴的带宽为 118．2Hz，量程为0．313g；轴的带宽为lO．7Hz， 量程为3．53g。 关键词：微机电系统；微机械加速度计；静电加速度计；静电悬浮 中图分类号：U666．1 文献标识码 ：A 文章编号 ：1000-9787(2014)03-0034-93 ExperimentalstudyofSimicromachinedelectr0statically suspendedaccelerometer ZHANGHan．zheng ，HAN Feng—tian ，SUN Bo．qian ，MA Gao—yin (1．DepartmentofPrecisionInstruments，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China； 2．BeijingInstituteofAerospaceControlDevice，Beijing100039，China) Abstract：Simicromachinedelectrostaticallysuspendedaccelerometerswhichcombineselectrostaticsuspension andmicromachinedfabricationtechnology，canrealizeextremelyhighresolutionwithultra—low accelerationrange formiro—grivityspaceapplications．A lowrange，tri-axismicromachinedelectrostaticallysuspendedaccelerometeris designedwithafreeparallelepipedproofmass，and realizedin aglass—silicon—glasssandwich structureby bulk siliconmicromachiningtechnology，andprope~yoftheforcebalna celoop ofaccelerometerisanalyzed．A DSP— baseddigitalcontrolleriSrealizedtoachievestablelevitationoftheproofmasselectrostaticallyinsixdegreesof freedom．Theexperimentalresultsoftheaccelerometeroperatedinthe atmosphericenvironmentshow thatthe closed-loopsuspensionbandwidthandmeasuringrangesare88．1Hz，0．220g inthe axis；118．2Hz，0．313g in theYaxis；andlO．7Hz，3．53g inthe xa is，respectively． Keywords：MEMS；micromachinedaccelerometer；elec