硅微阵列陀螺仪的仿真、设计与测试.pdfVIP

第25卷 第 1期 传 感 技 术 学 报 Vo1．25 No．1 2012年 1月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Jan．2012 Simulation，DesignandTestofSiliconM icro-GyroscopeArray ZHANGYinqiang ，YANGBo，LIring，WANGShourong (1．KeyLaboratoryofMicro—InertialInstrumentandAdvancedNavigationTechnology，Min~tryofEducation，Nanjing210096，China； (2．CollegeofAutomationandElectronicEngineering，NanjingUniversityoftechnology，Nanjing210009，China) Abstract：In ordertoimprovetheaccuracyandreliabilityofthesiliconmicro—gyroscope，anew Micro—ygroscope Arrayisproposed．Thefullysymmetricalandhalf-decoupledquad—massstructureenablesthematchedresonantfre— quenciesforthedriveandsensemodes．Thestructureandtheprincipleofoperationwereanalyzed．Thesturctural simulationoftheygroscopewasdevelopedbyutilizingthefiniteelementsoftwareANSYS．Theresonantfrequencies ofrthedrivemodeandsensemodewerematchedbyadjustingthestructureparameter．Thedrivingandsensingfre— quenciesofthegyroscopeweretested．Thetestresultsshow thatthedrivemodehasthreevibrationtypesand the amplitudeoftheReversedphasemodeisthelargestonewhichisinagreementwiththesimulationanalysis． Keywords：siliconmicro—ygroscopearray；structuraldesign；ANSYSsimulation；scanning~equencyexperiment EEACC：7630 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2012．01．006 硅微阵列陀螺仪的仿真、设计与测试术 张印强 ，杨 波 ，李 婧 ，王寿荣 (1．东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，南京 210096； 2．南京工业大学 自动化与电气工程学院，南京 210009) 摘 要 ：为了提高硅微机械陀螺仪的精度和工作可靠性．提出了一种新的硅微阵列陀螺仪结构设计方案。该陀螺仪由4个 质量块构成．采用半解耦结构设计 ，结构完全对称．驱动模态和检测模态的频率匹配性好。分析了硅微阵列陀螺仪的结构和 工作原理，并利用 ANSYS有限元软件进行了结构仿真．通过调节结构参数实现了各驱动模态与敏感模态固有频率的匹配。对 阵列陀螺仪样品进行了测试，实验测试结果表明，驱动模态存在3个振型，同频反相振动的幅值最大，与仿真结果一致。 关键词 ：硅微阵列陀螺仪；结构设计；ANSYS仿真：扫频实验 中图分类号：TP212 文献标识码 ：A 文章编号：1004—1699(2012)01—0029—04 硅微机械陀螺仪具有体积小、成本低等优点，在 仪，通过对噪声的模型化，建立相应的滤波方程 ，将 许多领域具有广泛的应用价值，但精度较低限制了 使陀螺仪的漂移得到较大幅度的降低，也是硅微陀 其应用场合．因此，