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第24卷 第6期 传 感 技 术 学 报 Vo1．24 No．6 2011年 6月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS June2011 A Pul1．inM odelforParallel—PlateElectr0staticallyM EMSActuators withtheFringingField Effect FANG runiing ，LIPu ，1．CollegeofElectronic,ScienceandEngineering，NanjingUniversit)ofPostsandTelecommunications，Nanjing210003，China ＼2．SchoolofMechaniealEngineering，SoutheastUniversity，Nanfing2tl189，China ／ Abstract：PredictingPull—inparametersiscrucialinthedesignofMEMSactuators．Inthepast，thePull-inparame— tersofparallelplateMEMSdeviceswiththefringingfieldeffectareoftenestimatedbyusingfin~eelementmethod (FEM ．HoweverFEM iscumbersome，timeconsumingandnon—transparent，whichisnotconvenientforthedesign optimization．Usually．thereareasimpleanalyticalmodelandadetailedanalyticalmodelforfringingcapacitancere— spectively．ThispaperusesthetwomodelstoderivethePul1．inmodelofparallelplateMEMSdeviceswiththefling- ingfieldeffectrespectively．TheaccuracyofthetwoPull—inmodelsisexaminedbycomparingtheirresultswiththe FEM results．Simulationresultsshow thatthePul1．inmodelbasedonthesimpleanalyticalmodelforfringingcapaci— tanceisunsuitablet0 predictPull—in parameters．ThePull—inmodelbased on the detailed analyticalmodelhas shownagoodagreementwiththeFEM resultsforawiderangeofgapspacing． Keywords：MEMS；pull—in；microactuators；fringingfieldeffect EEACC：2575；8460 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2011．06．014 考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull—in模型术 方玉明 ，李 普 ／1．南京邮电大学 电子科学与工程学院，南京210003；、 ＼2．东南大学 机械工程学院，南京 211189 ／ 摘 要 ：在MEMS执行器的设计中，求出准确的Pull—in参数是至关重要的。在过去的研究中，对于漏电场不能忽略的平行平 板式静 电微执行器，通常只能采用有限元法数值求解。但是，有限元法繁琐、费时而且不直观。平行平板电容器的漏 电容解 析模型通常有两种：一种简单的；一种详细的。基于这两种漏 电容解析模型，分别导出了漏 电场不能忽略的平行平板式微执 行器的Pull—in失稳方程，并将求解结果与ANSYS耦合场分析结果做了对 比。结果表明，基于详细漏 电容模型的结果精度 良