聚3-己基噻吩及其掺杂TiO2材料对NO2的气敏特性.pdfVIP

2012年 第31卷 第 7期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 55 聚3。己基噻吩及其掺杂 TiO2材料对 NO2的气敏特性 梁圣法 ，李冬梅 ，陈 鑫 ，詹 爽 ，刘 明 (1．中国科学院 微电子研究所 ，北京 100029； 2．青岛科技大学，山东青岛266042) 摘 要：制作了一种工作于室温下的NO 气体传感器。该传感器以有机聚合物聚3一己基噻吩(P3HT)为 敏感材料 ，以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜为柔性衬底。对敏感膜进行了SEM表征。室温下，对不 同体积分数的NO 进行了测试，对器件尺寸的影响进行了分析，并对响应规律进行了总结。经实验，对 NO 测试下限可达到0．2×10一。为提高敏感性、减小恢复时间，尝试对敏感膜掺杂TiO，并同未掺杂的 敏感膜进行实验比较 ，发现对体积分数 1．5×10 的NO ，掺杂TiO。可将敏感性提高8％，恢复性也有明 显改善，对周期为 l060S的循环测试表明：掺杂TiO 下阻值基本能完全恢复。 关键词 ：NO2；柔性衬底 ；聚3一己基噻吩；TiO2；室温 中图分类号：TP212．2 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2012)07-0055-03 JasSenSl■UJ●Ve Cnlaract·eri●st·l■csotnDolly-3一一n1exyl’t…hlOD_Iiene and1 dopedwith Tio，，materialt0No， LIANG Sheng．fa ，LIDong—mei，CHEN Xin ，ZHAN Shuang一，LIU Ming (1．InstituteofMicroelectronics，ChineseAcademyofSciences，Beijing100029，China； 2．QingdaoUniversityofScienceTechnology，Qingdao266042．China) Abstract：ANO2gassensorbasedOilpolyethyleneterephthalate(PET)assubstratewithpoly-3一hexyhhiophene (P3HT)asthesensingfilmmaterialisfabricatedandtestedatroomtemperature．Propertiesofsensitivemembrane arecharacterizedbySEM．DifflerentvolumefractionsofNO。aretested．andtestinglimitreachesto0．2 ×10一 ． and the response rule iS concluded．Sensitivity of devices with different sizes and resistances has been characterized．Toimprovesensitivityandreducerecoverytime，thesensitivefilm isdopedwithTiO2．Compared withundoped sensitive membrane，the sensitivity of doped TiO2can be increased by 8％ and a marked improvementofrecovery isobservedtovolumefractionof1．5 ×10～ ofNO2onaperiodofl060scycletesting． Inthecycle，themembranedopedwithTiO2canrecoverfully． Keywords：NO2；flexiblesubstrate；poly-3一hexyhhiophene(P3HT)；TiO2；roomtemperature