聚合物双层微悬臂梁的温度敏感特性研究.pdfVIP

60 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 2013年 第32卷 第8期 聚合物双层微悬臂梁的温度敏感特性研究 白英 良 ，雷 飞 ，奥 顿 ，韩 立 (1．北京工业大学，北京 100124； 2．中国科学院 电工研究所。北京 100190) 摘 要：利用微塑模技术和镀膜技术制作了一种双层聚合物悬臂梁，基于聚合物和金2种材料膨胀系数 的差异，不同温度下梁的挠度不同，其形变可通过光杠杆放大由位置敏感探测器(PSD)进行检测。理论计 算和实验结果表明：在聚合物悬臂梁处于玻璃态下，输出电压与温度呈线性关系。 关键词：微模；聚合物微悬臂梁；温度；线性关系 中图分类号：$951 文献标识码：A 文章编号 ：1000--9787(2013)08-0060--03 Research on temperature-sensitivepropertiesof polymerbi．1ayermicrocantilever BAIYing—liang ，LEIFei，AODun ，HAN Li (1．BeijingUniversityofTechnology，Beijing100124，China； 2．InstituteofElectricalEngineering，ChineseAcademyofSciences，Beijing100190，China) Abstract：A novelbi—layerpolymercantileverisdesignedandfabricatedbymicromoldandcoatingtechnologies． anddeflectionofthebeam varieswithtemperaturebasedonthedifferentcoefficientofthethermalexpansion betweenpolymerandAu，anddeformationismeasuredbypositionsensitivedetectors(PSD)afteritisenlargedby opticallever．Theoretic computation andexperimental resultsshow thatwhen polymerisunderglassstate，the outputvoltageisnearlylinearwithtemperature． Keywords：micro—mold；polymer—micoeantilever；temperature；linearrelation 0 引 言 1．1 悬臂梁基座阳模的预处理 温度传感器是 自动控制和仪器仪表工业中最常用的传 1)利用电火花技术加工出微悬臂梁的基座和悬梁，微 感器之一，其种类繁多，诸如热电偶、热电阻、双金属片温度 悬臂梁的厚度为200Ixm；2)将电火花加工出的不锈钢基座 传感器等。随着工业 自动化程度的提高和多传感器信息融 和悬梁放人体积分数为40％盐酸，用于清除不锈钢表面的 合技术的发展，迫切需要热惯性很小、响应迅速的温度传感 氧化物；3)将悬梁和基座用石蜡进行包埋，用型号为 1500 器 。近年来，随着微 电子技术和微机械加工技术的进 的砂纸进行机械减薄使悬梁处厚度为90 m，而后采用抛 步，微悬臂梁温度传感器得到较快的发展 。微悬臂梁制 光砂纸进行处理后，祛除石蜡得到微模复制技术所用到的 作一般采用传统的硅微机械加工工艺制作，制作过程包括 阳模 。 光刻和反应离子刻蚀等步骤，从而导致悬臂梁传感器造价 1．2 微模