聚合物光栅光波导器件的微复制技术.pdfVIP

第23卷 第 10期 传 感 技 术 学 报 Vo1．23 No．10 2010年 10月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．2010 M icro-ReplicationTechniquesofPolymerOpticalGratingW aveguides L／UYueming ，ZHANGShaojun ，1．Col eofOpticalandElectronicTechnology，ChinaJiliangUniversity，Hangzhou310018，China ＼2．Col eofScience，ChinaJiliangUniversity，Hangzhou310018，China ， Abstract：BasedonNano—imprintLithographyandmicro-replication process，akindofflexiblepolymergrating waveguideswasfabricatedsuccessfully．Thisnovelgratingwaveguidescould beused in strainsensingofhuman medicalcatheterandrelatedapplications．Processofthisgratingwaveguidewaspresentedand severalskillswere discussed．Furtherprocesswithcoupledopticalfiberwasdiscussedforsuitablesensingapplication．Byusingsili- conmouldandUV—replicationmethod，polymergratingwaveguideswith coresize4 Ixm ×20 Ixm andpitch0．75 txm werefabricatedsuccessfully． Keywords：polymer；polymergratingwaveguide；microreplicationprocess；microdeflectionmeasurement EEACC：7230M；4145；4145 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2010．10．009 聚合物光栅光波导器件的微复制技术术 刘月明 ，张少君 ，1．中国计量学院光电学院；杭州 310018．、 ＼2．中国计量学院理学院；杭州 310018 ／ 摘 要 ：采用纳米压印微复制技术方法，研制了一种新型的聚合物柔性光栅光波导敏感器件，该器件可用于介入式医用导管 的微弯挠曲监测或类似场合的微变形监测。重点阐述了聚合物柔性光栅光波导器件的微复制模具和器件微复制的工艺方 法，并对制备工艺技术中的关键技术问题进行了讨论 ，讨论了测试光纤耦合一体化光栅波导器件的工艺方法。最后利用硅微 模具和紫外固化介质材料，成功制备出了截面尺寸为4 m×20 m、光栅周期为 0．75 m的聚合物柔性光栅光波导器件。 关键词 ：聚合物；光栅光波导；微复制工艺；微挠曲监测 中图分类号：TP212．14 文献标识码 ：A 文章编号：1004—1699(2010)10—1408—04 现有介入式医用导管是利用操作人员的外力介 是由于一方面石英材料光纤与体 内导管相 比不够柔 入到人体病变部位的，是一种被动方式，柔性的医用 软，光纤光栅的引入会附加体 内导管刚度，从而降低 导管在腔道组织上滑行时，对腔道壁面产生压力 ，有 体内导管的操纵灵活性，第二方面是因为石英材料 可能对人体 内部软组织造成擦伤和拉伤，一旦这个 易断，当用于介入式医用导管进入人体时，它远不如 压力超过一定的阈值，还可造成组织破损和穿孔，鉴 聚合物材料的安全性高和生物相容性好，故实际上 于这种情况，有必要研制一