行星式双面研磨轨迹均匀性研究.pdfVIP

·机械研究与应用 · 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 研究与分析 2015年第6期 (第28卷,总第140期) doi:10.16576/ j.cnki.1007-4414.2015.06.016 行星式双面研磨轨迹均匀性研究* 杨金双1 ,朱祥龙2 (1. 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川 绵阳摇 621900; 2.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连摇 116024) 摘摇 要:蓝宝石(琢-Al O )是一种机光电性能优良的功能晶体材料,在半导体和光电子等行业得到了广泛的应用。 行 2 3 星式双面研磨是蓝宝石基片平面加工的重要手段,加工过程中磨粒轨迹的均匀性对工件的加工精度和表面质量有着 重要的影响。 通过运动学分析建立了双面研磨磨粒轨迹方程和速度方程,提出一种基于Matlab 离散统计的磨粒轨迹 均匀性定量评价方法,并求取设定参数下双面研磨轨迹分布均匀性的方差值。 关键词:蓝宝石;双面研磨;研磨轨迹;轨迹均匀性;统计分析 中图分类号:TG581摇 摇 摇 摇 摇 摇 文献标志码:A摇 摇 摇 摇 摇 摇 文章编号:1007-4414(2015)06-0041-03 Research on Uniformity of Trajectory in Planetary Double-Side Lapping Process 1 2 YANGJin-shuang ,ZHU Xiang-long (1.Institute of Machinery Manufacturing Technology,ChinaAcademy of Engineering Physics, Mianyang Sichuan摇 621900,China;2.Key Laboratoryfor Precision &Non-traditionalMachining of Ministry of Education,Dalian University of Technology,DalianLiaoning摇 116024,China) Abstract:Sapphire is a kindof functional crystal materialwith excellent propertiesandwidely used inthe semiconductor and optoelectronicindustry. Planetarydouble-sidelappingisoneofthemostimportantmethodsinprocessingsapphire,themachi鄄 ning precision and surface quality of work pieces are affected by the uniformity of abrasive trajectory significantly. In thispa鄄 per,trajectory andvelocity equationsof abrasive are set upthroughthe kinematical analysisof double-sidelapping,andthen aquantitativeevaluationmethodoftrajectoryuniformitybasedontheMatlabdiscretestatisticsispresented. Withthismethod, variance value of abrasive's trajectory uniformity under given parameters is calcu