负压驱动蠕动微型泵的研究进展.pdfVIP

2013年第41卷第9期 流 体 机 械 33 文章编号 ： 1005—0329(2013)09—0033—04 负压驱动蠕动微型泵的研究进展 崔建 国 (重庆理工大学，重庆 400054) 摘 要：基于负压驱动原理研制了一种结构简单的蠕动微型泵。微型泵由3层聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料 ，构成气 路层、驱动薄膜层和流路层，其全部结构均采用激光器加工制作而成，并通过表面等离子体氧化处理技术实现了各 PDMS层之间的键合封装。该微型泵具有流速高、回流低、气泡耐受能力强，以及不伤害传送介质的特点。尤为重要的 是，连接负压源的气路层通过 PDMS薄膜能有效去除流路中的气泡，这是处理复杂流体样品时所期望的。通过对比前期 微型泵的气路通道的流阻、常闭微阀的个数、负压压力和驱动频率等各项参数，获得 了其性能参数。在50kPa负压和 30Hz驱动频率的条件下，获得的最佳流速为500p．IVmin，这一流速参数可与正压气动型蠕动泵的流动性能相媲美。 关键词：微型泵；微流体；负压驱动；蠕动 中图分类号： TH137．51；TP271 文献标识码 ：A doi：10．3969／j．issn．1005—0329．2013．09．008 ResearchProgressofaPeristalticM icropumpD~venbyPneumaticPressure CUIJian·guo (ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing400054，China) Abstract： Basedonvacuum-drivenprinciple，asimpleperistalticmicropumpisdeveloped．Themicropumpfabricatedbylaser micromachiningandplasmabondingofthreep01ydimethy1sil0xane(PDMS)layers，includesapneumaticchannellayer，actuation membranelayer，andmierofluidicchannellayer．Thevacuum-drivenpefistMticmicropumpoffers highpumpingrates，lowback— flow，appreciabletolerancetoairbubbles，andminimal destructiontofluidcontents．Inaddition，thepneumaticnetworkwith negativepressureprovidesameanstoeffectivelyremoveairbubblespresentinthemicmflow throughthegas—permeablePDMS membrane，whichcanbehighlydesiredinhnadlingcomplexfluidicsamples．Experimental characterizationofthepreviousmi- cropumpperformnacehasbeenconductedbycontrollingtheresistanceofhtepneumaticnetwork，thenumberof normallyclosed valves，thevacuum pressure，andhtefrequencyofpressure pulses．Amaximalflowrateof6OO l~L／minhasbeenoptimizedat thepulsedvacuum frequencyof30Hzwithavacuum pressureof 50kPa．whichiscompraabletohtatof compressedair—actuated peristalticmicropump． Keywords： mieropump；microfluid；vacuum driven；peristaltic 1 引言