透镜中心厚度自动检测系统.pdfVIP

鼠应用技术 透镜中心厚度 自动检测系统 王楠 雷欢 何峰 马敬奇 张红梅 (1．广东省 自动化研究所 广东省现代控制技术重点实验室 广东省现代控制与光机 电技术公共实验室 2．广东华中科技大学工业技术研究院) 摘要：针对小口径光学透镜中心厚度检测问题，提出一种基于激光位移传感器与机械手相互配合的检测方 法，设计一套快读、非接触、高精度的透镜中心厚度 自动检测系统。实验结果表明：该检测系统对光学透镜中心 厚度的测量极限误差不超过±5UlTI，测量时间控制在 8s内，满足透镜中心厚度检测的要求。 关键词：激光位移传感器；机械手：透镜中心厚度 0 引言 检测技术，主要 由机械手及其控制系统、激光位移传 感器、调整台、光栅及位移检测系统、电机、采样信 光学透镜是光学系统中最基本的光学元件，其生 号分配系统、测量控制系统和计算机处理系统组成。 产质量关系到成像质量的好坏，对光学仪器的精度有 透镜中心厚度 自动检测系统框图如图1所示，假 关键性影响。例如在宇航、医疗等光学系统产品中， 设传感器送进方向为y方向，激光器自上而下发射激 对透镜加工质量有严格的要求[¨。透镜中心厚度是光 光束的方向为Z方向，与发出的线阵激光线平行的方 学透镜的重要参数之一，它影响透镜曲率半径、焦距 向为 方向。其中激光位移传感器对透镜表面轮廓进 和成像质量，因此对其进行准确的测量有重要意义。 行扫描；传感器安装在燕尾导轨滑块上，y方向送进 目前，透镜中心厚度检测技术分为接触式测量与 伺服控制系统控制传感器在检测过程中的位置；光栅 非接触测量[2】。接触式测量需要将探测测头与透镜表 位移检测系统记录传感器的实时位移信息；机械手控 面接触，易划伤或磨损透镜，测量精度达不到要求； 制系统控制机械手，实现对被测透镜的投放、拾取等 非接触测量包括电容测微法、干涉法等，但均不同时 操作：采样信号分配系统负责将采集到的模拟信号转 具备高效率、高精度测量的特点。国内的透镜参数检 换成数字信号；测量控制系统负责对机械手伺服控制 测技术正处于发展阶段，大部分透镜参数检测设备依 系统和 y方向送进伺服控制系统发送进给、停止等指 赖于进 口。美国、德国、日本等发达国家已先后研制 令；计算机处理系统将接收的数据通过软件进行数据 出非接触式激光检测透镜参数的光学测量系统，例如 处理，得到被测透镜的中心厚度。 美国Chapman公司生产的MPTIO00通用光学测量系 在移动过程中，传感器每进给一段位移，就对被 统，但其成本较高，无法满足国内实时检测透镜中心 测透镜的截面进行采样，采集一组透镜截面轮廓线上 厚度的需求。