钛合金基底NiCr薄膜测力传感器的设计制作与检测.pdfVIP

主题：Z业机器人_ lndustrialHobOt 。 钛合金基底 NiCr薄膜测力传感器的设计制作与检测米 安春华 武文革 成云平 杜晓军 (中北大学，山西太原 030051) 摘 要：为了获得性能优 良的切削力测量传感器，设计 了两种结构的切削力测量用镍铬合金薄膜传感器。 采用相同工艺分别制作了Ti6AI4V和45钢材料的基片，并对比分析了基片的表面质量。优选出钛 合金作为基底，在其上制备了所设计的两种结构的薄膜传感器样 品，测量 了传感器敏感栅尺寸、薄 膜 电阻率、电阻栅薄膜厚度、传感器电阻值，分析了传感器电阻值的影响因素。 关键词：设计 ；制作 ；基底 ；电阻栅结构 ；测量 中图分类号：TH7；TI)212 文献标识码 ：A NiCrthinfilm pressuresensorformeasuringforceofTitanium base ANChunhua，WUWenge，CHENGYunping，DUXiaojun (NorthUniversityofChina，Taiyuan030051，CHN) Abstract：Inordertoobtaingoodperformancesensorsformeasuringcuttingforces，twokindsofnickel—chro- mium thinfilm alloysensorsisdesigned．Ti6A14V and45 steelsubstratesareproducedusingthe sametechnologyandthesurfacequalityareanalyzed comparatively．Preferablychoosethetitanium alloyasthesubstrate，onwhichthetwokindsofthin—film sensorsamplearepreparedandthesize ofthesensorsensitivegatearemeasured，thefilm resistivity，thethicknessofthethinfilm resistor grid，andtheresistancevalueofthesensoraremeasured，analyzethecausesaffectingthesensorre— sistancevalue． Keywords：design；manufacture；base；resistivegatestructure；measure 切削力作为刀具寿命、工件加工质量的直接影响 1 传感器阻栅的设计 因素，其测量与控制对现代制造技术的发展有着极其 深远的影响。近年来薄膜技术的发展为薄膜传感器的 传感器通过电阻栅的形变将外力转变成电信号输 产生奠定了基础。金属薄膜传感器具有 良好的高温化 出，且电阻应变片的种类众多、图形各异，可 以根据需 学稳定性、较高的熔点、灵敏度高、机械滞后小、温度系 要制作成多种形状结构，故电阻栅的结构设计也是非 数小、成本低等优点 ]。传感器必须由对外界变化敏 常重要的。本文通过理论计算和敏感栅材料镍铬合金 感的材料来制成-2J，虽然纯金属、合金、半导体都能作 (Ni80Cr20)的性能，设计 了2种电阻栅结构。 为敏感材料，但是合金比纯金属有明显的优势，镍铬合 方案一：传感器单元结构如图1所示，电阻栅、导 金是 1种具有高电阻率、高灵敏度系数、低应变系