非理想矩形锚单元的节点分析法.pdfVIP

第26卷 第5期 传 感 技 术 学 报 Vo1．26 No．5 2013年 5月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Mav2013 A NodalAnalysisM ethodforA Non—idealRectangularAnchor LIMin’ ，ZHANGJiahong ，LIUQingquan ，LIUHeng’ (1．肋 ngsuKeyLaboratoryofMeteorologicalObservationandSignalProcessing，Nanjing210044，China； 2．SchoolofElectronicandInformationEngineering，Na ngUniversityofInformationScienceandTechnology，Nanjing210044，China) Abstract：Inordertoperform simulation ofnon—idealanchoreffectin nodalanalysisforMEMSdesigner，anodal modelofrthenon—idealrectangularanchorandcorrespondingequivalentcircuitaredevelopedbyHspicebasedon Timoshenko beam theory and weighted residualmethod．System—levelsimulation ofan electrostatic actuator constitutedbythenodalunitsareperformedby Hspice．Itprovesaccuratein comparison with FEA simulation resuhs．Themodelalsodemonstrateditsabilitytosimulatetheimpactofnon—idealrectangularanchoronstaticand dynamiccharacteristicsofMEMS． Keywords：non—idealrectangular anchor；nodalanalysismethod；weighted residualmethod；Timoshenkobeam theory；MEMS EEACC：2575；8460 doi：10．3969／i．issn．1004-1699．2013．05．011 非理想矩形锚单元的节点分析法冰 李 敏 ，张加宏 ，刘清倦 ，刘 恒 (1．江苏省气象探测与信息处理重点实验室，南京210044；2．南京信息工程大学，电子与信息工程学院，南京210044) 摘 要：为了在节点化设计方法中考虑非理想锚效应，采用铁木辛柯梁理论和加权余量法建立了非理想矩形锚单元的节点 化模型，在Hspice中构建了相应的等效电路。结合已有单元模型，实现了静电执行器的系统级仿真 ，与有限元模拟结果吻合 较好 ，可模拟出非理想矩形锚对系统静态和动态特性的影响。 关键词 ：非理想矩形锚；节点法；加权余量法；铁木辛柯梁理论；MEMS 中图分类号：TN401；TN402 文献标识码 ：A 文章编号：1OO4—1699(2O13)05—0647-07 锚单元是 RF开关、微加速度计、压力传感器、 化提高锚区的刚度来达到 目的，这代表了处理非理 光开关、热执行器等MEMS器件中的常见结构。在 想锚效应的一类折中方法，事实上锚区效应是很难 这类器件的宏模型研究中，由于构建整体模型在数 完全消除的，但这类研究对具体器件的设计是有着 学处理上较为复杂，锚单元通常是默认为理想固支 重要意义的。另一种常用方法就是通过数值分析构 边界条件进行处理的，即认为锚单元的刚度为无穷 建出器件的行为模型，达到定量计算非理想锚效应 大，从 而忽略了非理想锚 效应对 系统特性 的影 影响下器件特性 的 目的，Lishchynska 和 D