静电梳齿结构横向间隙的边缘效应分析.pdfVIP

26 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 2010年 第 29卷 第8期 静 电梳齿结构横 向间隙的边缘效应分析 许 立，董林玺，王 威 (杭州电子科技大学 微 电子 CAD研究所，浙江 杭州310018) 摘 要：提出静电驱动梳齿结构横向静电力的边缘效应问题。通过对传统平行板电容器的静电力分析， 着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效应与静电力的影响，并与Ansofi有限元仿真结果对比。结 果表明：当大间隙时，梳齿受到的边缘效应不明显，但较大电压时会出现静电力与电压平方的非线性现象； 当小间隙时，平行板电容器模型公式不再适用，间隙值越小，电压越大时，耦合作用越明显，梳齿横向静电 力越大，受到边缘效应的影响越大，横向静电力不再为恒定值。 关键词：静电梳齿 ；横向间隙；边缘效应 中图分类号：TN303 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2010)08-0026--03 Lateralgap’Sfringeeffectanalysisofelectrostatic comb structure XU Li，DONG Lin—xi，WANG W ei (ResearchInstituteofMicro-electronicsCAD，HangzhouDianziUniversity，Hangzhou310018，China) Abstract~Fringeeffectproblem oflateralelectrostaticforceinelectrostaticdrivecombstructureisproposed．The electrostaticforceoftraditionalparallelplatecapacitorisanalyzed．TheeffectsoflateraIc0mbgap anddriven voltageonelectrostaticforceandfringeeffectarediscussedprimarily．Theresultsarecompared tllfiniteelement simulation．Itshowsthatthefringeeffectisnotobviouswhengapislarge，butnonlinearofeletrostaticforceand voltagesquaredwillappearifthevoltageistoohighwhenthegapisnarrow，couplingphenomena issignificant， narrowergapandhighervoltagewiltinducestrongerfringeeffectandlargerlateralelectrostaticofrce，lateral electrostaticofrceiSnotaconstna tvalueandparallelplatecapacitortheoryisnotsuitablealready． Keywords：electrostaticcomb；lateralgap；rfingeeffect 0 引 言 是一个恒定的值，受到移动梳齿和固定梳齿之间的间隙的 随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工 影响。 技术而发展起来的微机 电系统 (microelectro-mechanical 1 静电梳齿的模型与分析 systems，MEMS)，在信息、机械、航空、生物医疗等方面有着 典型的MEMS静电梳齿结构包括可动梳齿和固定梳 广泛的应用 J，并对传统的机电产业产生了深远的影响。 齿两部分。定齿固定在衬底上，上面施加直流驱动电压 ， 由Tn