力平衡加速度计的刚度耦合特性.pdfVIP

2010年 第29卷第4期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 35 力平衡加速度计的刚度耦合特性 周 吴 ，何晓平 ，苏 伟 ，李柏林。，陈黎丽 (1．西南交通大学机械工程学院，四川成都610031； 2．中国工程物理研究院 电子工程研究所。四川 绵阳621900) 摘 要：通过分析力平衡加速度计的工作原理 ，运用解析法推导出输入惯性力与质量块位移的关系，指出 加速度计的工作过程包括刚度 “刚化”与刚度 “软化”2种状态，有别于开环加速度计仅涉及刚度 “软化”状 态。以质量块位移的静电刚度与机械刚度之比作为结构的刚度耦合值 ，分析表明：加速度计的 “刚化”与 “软化”的分界点是耦合值为零的位置，而 “正”刚度与 “负”刚度的分界点是耦合值为一l的位置。耦合曲 线的尖锐程度反映了质量块的允许位移大小和耦合的非线性度，刚度耦合的幅值越大，耦合曲线越尖锐， 非线性度越大，质量块允许位移反而越小。 关键词：微电子机械系统 ；加速度计；刚度耦合；特性；静电刚度 中图分类号：TH112 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2010)04_oo35_03 Characteristicsofstiffnesscouplinginforce-balanced accelerometer ZHOU Wu ，HE Xiao．ping ，SU Wei。 LIBai—lin ，CHEN Li．1i ， (1．SchoolofMechanicalEngineering，SouthwestJiaotongUniversity，Chengdu610031，China； 2．InstituteofElectronicEngineering，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang621900，China) Abstract：Byanalyzingworkingprincipleofforce—balnacedaccelerometer，andusinganalytical method，therelation of inputine~ial forceandnlassblock’Sdisplacementisderived．Boththestatesof“stiffening”and“softening”are involvedintheprocedureofoperation，whichisdifferentfrom theopen·loopaccelerometerwhichonlyinvolvethe stateofs‘oftening”．Thestiffnesscouplingvalueisdefinedastheratioof electrostaticstiffnessandmechanical stiffnessofblock’Sdisplacement．Analysisindicatesthatthedividingpointof“stiffening’’and ‘‘softening’’iswhere thecouplingvalueequalstozero．anddividingpointof“positive”and “negative”stiffnessiswherethecoupling valueequalsto -1，thesharpnessofcouplingcurvereflectshtepermitteddisplacementnadcouplingnonlinearity， thelageristhe amplitude of stiffness coupling value，the more