第六章_薄膜的生.pptVIP

6.2新相的自发成核理论 气相的过饱和度越大，临界核心的自由能变化也越小。形成临界核心的临界自由能变化G* 实际上就相当于成核的势垒；热激活过程提供的能量起伏将使得一些原子具备了?G* 大小，导致新核的形成。 成核自由能变化随新相核心半径的变化关系 * 6.2新相的自发成核理论 　　　以上讨论的出发点是气相的过饱和度，是从热力学的角度考虑问题，另一种考虑问题的方法是从动力学的角度去考虑问题。 　　　由于在核心长大的过程中，需要吸纳扩散来的单个原子，而核心间还在通过合并过程而长大，小核心中的单个原子也会通过气相或通过表面扩散的途径转移到大核心中去。因此，降低衬底的温度还可以抑制原子和小核心的扩散，冻结形核后的细晶粒组织，抑制晶核的长大过程。它使得沉积后的原子固定在其初始沉积的位置上，形成特有的低温沉积组织。在降低温度的同时，采用粒子轰击的方法抑制三维岛状核心的形成，使细小的核心来不及由扩散实现合并就被沉积来的原子所覆盖，以此形成晶粒细小、表面平整的薄膜。 * 　　　在大多数固体相变过程中，涉及的成核过程都是非自发成核的过程，即有其他的因素起到了帮助新相核心的生成。 一、非自发成核过程的热力学 原子团在衬底上形成初期，原子团很小，它可能吸收外来原子而长大，也可能失去已有的原子而消失，其自由能变化为 ?G=a１r3 ?Gv+a２r2 ?fs+a2r2 ?sv-