6、压电式传感器要点.pptVIP

压电式传感器 §3 压电式传感器的测量线路 根据压电式传感器的工作原理及其等效电路，它的输出可以是电压信号也可以是电荷信号，因此设计前置放大器也有两种形式：一种是电压放大器，其输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成正比；另一种是电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。 压电式传感器 一、电压放大器 左图为电压放大器电路简化等效电路图，图中 ± U Ca R C Usc Usr ?A ； 如果压电元件受作用力的为交变力 F＝Fm ·Sinωt Fm — 作用力幅值 。则产生的电荷与电压均按正弦规律变化（压电元件是压电陶瓷在其电轴上作用交变力） Q＝d33F； d33—压电系数 。 则压电元件上产生的电压值 ： 传感器的电压灵敏度 ： 因为 ，则 压电式传感器 结论： （1）当ω＝0（作用在压电元件上的力是静态力），则放大器输入电压等于零，这意味着电荷被泄漏，从原理上这时压电传感器不能测静态量； （2）当 ，可近似看作放大器输入电压与作用力的频率无关，（被测物理量变化频率越高越能满足上述条件），可见压电式传感器高频响应非常好。 （3）为扩大低频响应范围，必须尽量提高回路的时间常数，但不能提高电容，否则电压灵敏度会下降，因此只能提高电阻。主要取决于前置放大器的输入电阻，放大器输入电阻越大，测量回路的时间常数越大，传感器的低频响应越好。 电压放大器电路简单，元器件少、价格便宜、工作可靠，但电缆长度不能长，增加电缆长度会降低传感器的电压灵敏度，而且不能随便更换出厂时规定的电缆，一旦更换电缆，必须重新校正灵敏度，否则将引起测量误差。 压电式传感器 压电式传感器 二、电荷放大器 用电压放大器作为前置变换电路使得输出USC不仅与电荷量有关，还与连接电缆等分布参数如CC有关，所以系统的互换性不好，采用电荷放大器就可以较好地解决这个问题。 电荷放大器实际上是一个具有深度负反馈的高增益运算放大器。 当放大器开环增益和输入电阻、反馈电阻相当大时，放大器的输出电压Vsc正比于输入电荷Q。 压电式传感器 Q Ca Cc Ci Cf Rf Usc K 式中 Ca—传感器压电元件 的电容； Cc—电缆电容 Ci—放大器输入电容 Cf—放大器反馈电容 k—放大器的开环增益 压电式传感器 当k足够大，则： 则 ： 电荷放大器的输出电压仅与电荷量和反馈电容有关，只要保持反馈电容的数值不变，输入电压就正比于输入电荷量，且当（1+K）Cf 10（Ca+Cc+Ci）以上时， ① 可认为传感器的灵敏度与电缆电容无关，更换电缆和使用较长电缆（数百米）时，无需重新校正传感器灵敏度。 Rf（约1010～1014Ω）提供直流反馈； 电荷放大器的时间常数RfCf相当大（105S以上），下限截止频率fL=1/(2πRfCf) ，低达3×10-6Hz，上限频率高达100KHz，输入阻抗大于1012Ω，输出阻抗小于100Ω。 ② 压电式传感器配用电荷放大器时，低频响应比配用电压放大器要好得多，可对准静态的物理量进行有效的测量。 压电式传感器 电荷放大器的实际电路举例 设计电荷放大器时，为了基本满足Ri近似无限大的条件，所选运算放大器的输入阻抗应大于1010Ω，至少不应小于109Ω ；开环增益一般应达到90dB。本例中200MΩ和Rf 电阻是为了防止放大器饱和而加入的，22KΩ电阻可以在一定程度上实现对输入端的保护作用。 压电式传感器 §4 压电式传感器的应用 一、压电式加速度传感器 通过压电元件与质量块的结合，可以构成压电式加速度传感器，压电式加速度传感器常见的结构型式有基于压电元件厚度变形的压缩型和基于剪切变形的剪切型。 压电式传感器 （c）梁式 （a）单端中心压缩式 （b）挑担式 1 ——惯性质量块 2 ——双压电晶片 3 ——引线 4 ——底座 压电式传感器 灵敏度：100mV/g 量程：50g 频率范围：0.5-8000Hz（±10%) 分辨率：0.0002g 线性：≤1% 横向灵敏度：≤5% 典型值：≤3% 温度范围：-40~+120℃ 用途：模态试验 LC0101 压电式传感器 LC0106 灵敏度：1000mV/g 量程：5g 频率范围：0.04-1500Hz（±10%) 分辨率：0.00002g 重量：200gm 安装螺纹：M5 mm 线性：≤1% 横向灵敏度：≤5% 典型值：≤3%