石墨烯转移工艺对功率芯片绝缘层的影响.pdfVIP

技术交流 ELECTRONICS WORLD ・ 石墨烯转移工艺对功率芯片绝缘层的影响 黄山市七七七电子有限公司 洪国东 戴立新 冯立康 黄山市供电公司 王政留 【摘要】 随着微电子产品高性能、微型化、多功能化的发展需求，电子器件及应用发展迅速，新兴技术给电子产品的热管理带来了极大挑战。石 墨烯由于其极高的横向热导率，有希望成为下一代电子器件散热材料的最佳选择。然而，由于石墨烯的超薄尺寸，应用于功率芯片表面进行散热 时需要经过复杂的转移工艺。研究发现，石墨烯的转移工艺对芯片表面绝缘层有一定的破坏作用，从而在一定程度上影响芯片的电特性。 【关键词】 石墨烯；绝缘；转移工艺 The influence of transfer process of graphene on the insulated layers in power chips HONG Guo-dong1 1 1 2 ，DAI Li-xin ，FENG Likang ，WANG Zheng-liu （1.Huangshan Qiqiqi Electron Company，Huangshan 245600 ，China ；2.State Grid Huangshan Power Supply Company ，Huangshan 245000 ，China ） Abstract ：As the development of high performance ，miniaturization and multifunctional demand of the microelectronics products ，electronic devices and their applications are developing rapidly.Emerging technologies have brought great challenges to thermal management of the electronic products.Due to its high in-plane thermal conductivity，graphene is promising to be the best choice of heat dissipation materials in the next generation of electronic devices.However，because of the ultrathin size of graphene ，it needs complex transfer processes to be used as the heat spreader in power chips.It can be found that the transfer processes of graphene have bad influence on the insulated layers and electric properties of the power chips. Key words ：graphene ；insulation ；transfer process 随着电子元件和系统的体积不断减小，运行速度不断加快，电 (CVD)法制备的石墨烯，是在25 μm厚的铜箔上生长的单层或多层 子产品的热处理成了影响它们寿命和可靠性的关键问题[1，2] 。局部 石墨烯。为了将石墨烯应用于功率芯片对局部热点进行散热，必须 高热流热点的冷却技术是大功率电子器件发展的关键[3] 。 将其从生长基底上转移到目标芯片上。本文采用湿法刻蚀[6，7]工