单晶硅太阳电池酸制绒双层膜工艺研究_钟思华.pdfVIP

第35卷 第12期 太 阳 能 学 报 Vol.35,No.12 2014年12月 ACTAENERGIAESOLARISSINICA Dec.,2014 文章编号：0254-0096 （2014 ）12-2420-05 单晶硅太阳电池酸制绒双层膜工艺研究 1,2 1 1 2 2 2 钟思华 ，徐 征 ，赵谡玲 ，胡盛华 ，苏深伟 ，胡井生 （1. 北京交通大学太阳能研究所，北京100044；2. 北京中联科伟达技术股份有限公司，北京 100102） 摘 要：将酸制绒方式与双层膜工艺进行结合，研究发现酸制绒电池片跟碱制绒电池片相比，除短路电流和效率略 低外，开路电压、并联电阻和反向漏电流均有明显优势。在双层膜工艺中，当第一层膜的镀膜时间小于180s（膜厚 小于34.6nm）时，随镀膜时间增加，总反射率降低，尤其是短波范围，短路电流也因此增加；但大于180s后，随镀膜 时间增加，虽然短波反射率仍降低，短路电流却有所下降。 关键词：单晶硅；酸制绒；双层膜；低反射率；反向漏电流 中图分类号：TK513 文献标识码：A 有报道，本文主要研究酸制绒单晶硅电池表面优化 0 引 言 双层膜工艺，从而降低表面反射率，提高短路电 提高太阳电池效率必须要做好光学管理和电 流。此外还对酸制绒和碱制绒电池片进行了比较。 学管理。所谓光学管理就是如何让入射光更有效 1 原 理 地被电池吸收，转变成光生载流子，工艺技术有：在 电池表面进行表面织构、镀减反射膜层、减少电极 硅与酸的基本腐蚀原理是各向同性腐蚀，与晶 栅线的遮光损失。对于单晶硅太阳电池的表面织 体取向无关，常用的酸腐蚀溶液是 HF 和HNO3 的 构常用方法是通过碱腐蚀形成金字塔绒面，需要把 混合溶液，其与Si的反应方程为［9］： 腐蚀液加热到80℃，同时需要添加一些昂贵的添加 4HNO +Si¾®¾¾ SiO +4NO +2HO （1） 3 2 2 2 剂，所以成本较高，且由于金字塔顶，特别是大金字 SiO +6HF¾®¾¾ [HSiF]+2H O （2 ） 2 2 6 2 塔易磨损而造成漏电较大［1］。而如果以酸制绒的方 从以上反应方程式可知溶液与 Si 的反应速率 式在表面各向同性腐蚀形成凹坑状绒面，则无需加 受HF 和HNO3 的比率控制，合适的腐蚀速率可在 热，无需使用添加剂，不存在有机物质的污染，且因 Si 表面织构出较好的凹坑状绒面，增加入射光在硅 实际批量生产中碎片率较低，制绒质量较稳定而成 表面的反射次数，从而增加吸收率。但如果只是在 本较低。此外与碱制绒电池片相比，酸制绒电池片 Si 表面腐蚀形成绒面，表面仍有较高的反射率，所 做成组件后的效率和功率衰减更小［2］，在RENA公 以需要在表面再镀上减反射膜，膜层的厚度及折射 司的实验结果中甚至还有一定增加。但酸制绒最 率对减反射效果至关重要。 大的缺陷是表面反射率较高，因而光电流较小。