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谢谢 * * * * * * * * * * * * * * 硅烷安全培训 2012.02.20 硅烷安全培训内容目录： 1 性质 页 3 危害 页 4 等级 以及所用标识 页 5 常见情形 页6 特殊状况 页7 可燃及自燃范围 页8-9 硅烷燃烧特性 页10-14 个人安全防护用品 页15 连接/安装限流孔板 页16-17 硅烷安全培训:物理性质 性质 数值 注解 分子量 32.118g/mol 参考体积 (20oC) 751.8ml/g 沸点 (1.01325bar) -111.5oC 熔点 -185.0oC 绝对密度, 气态 1.342g/l 相对密度, 气态 (air=1.0) 1.114 比空气重 绝对密度, 液态 (-165oC) 0.711kg/l 临界温度 -3.4oC 高于这个温度 = 通常气态 临界压强 48.43bar.a 在临界温度下蒸气压 气味 难闻 ，窒息 Not a good indicator of a leak 颜色 无色 * 硅烷安全培训:危害 * 对人身主要伤害 造成严重灼伤 爆炸产生的冲击波 其他伤害 吸入会直接导致恶心，头痛，其他疼痛 对眼睛有刺激 硅烷安全培训:等级 以及所用标识 * 2203 UN identification number: [07803-62-5] CAS identification number : 21050 CN identification number: 232-263-4 EEC identification number: 2.1 DOT transport class: 2, 1F ADR transport class: 可燃性气体 运输标签: 硅烷安全培训:常态 * 硅烷的蒸气压曲线图 临界点: 温度= -3.4oC 压强 = 48.4bar.a 高于 -3.4oC, 硅烷是压缩状态 (不可能被液化) 硅烷通常用钢瓶, Y瓶, 集装格 或拖车储存 正常充装压强 (15oC时) 在中国通常 65-90bar.g 。 硅烷安全培训:特殊情况 * 低于 -3.4oC, 钢瓶或管道中的硅烷将会液化 液态的硅烷危害更大， 是因为由于随着释放到空气中的硅烷量增大，使得空气中的硅烷密度极具增加，造成更大危险 即使大气温度 大于3.4oC 仍然有方法将硅烷液化 称为 Joule-Thomson 效应 (JT-effect) 高压 低压 膨胀点 当气流通过小通风孔从高压向低压流动时, 气体在被冷冻 如果气压下降很大 ，冷却量会足够将气温降到 -3.4oC 如果使用压力计，对于硅烷来说效果会更加明显 硅烷安全培训:燃烧范围 * 硅烷0.1-96% 氢气 甲烷 氨气 0% 100% 硅烷安全培训: 可燃及自燃范围 * 可燃范围 0.1-96% (v/v) 0% 100% 自燃范围 3-96% (v/v) 硅烷自燃所需条件 逃逸速度 (压强) 泄露的形态 当地的氧气浓度 温度和湿度 硅烷安全培训:硅烷什么时候会自燃? * 如果系统或者钢瓶中的硅烷泄漏时会发生下面三种情况 如果是微漏或是压强很低, 通常硅烷一接触空气就会燃烧，产生橘黄色的火焰，并伴有深褐色的固体颗粒 如果是微漏但压强很高 – 刚开始硅烷并不会燃烧，会有一连串的爆音，并伴有白色的固体颗粒 如果是很大的泄漏并且压强也很高时, 硅烷会出现最初的冷却蒸气云形态 (JT效应) 当混合到一起是就会发生爆炸 – 这是最危险的情况 硅烷安全培训:引燃式 * 迅速点燃 延迟点火 如果释压小于 2bar.g, 此时释放的气体通常是燃烧的 (除非被氮气流冲淡) 注意此时的燃烧也会伴随偶尔的爆音 如果硅烷气流 (或者硅烷混气流) 很高, 硅烷不会立即燃烧但是会以冷却的硅烷蒸汽云形态聚集 此时硅烷遇到空气会燃烧，出现爆音或者爆炸 硅烷安全培训:延迟点火原因 * 切断气流产生的燃烧 如果硅烷是以冷却的蒸汽云形式释放到大气中–在进行简单的切断或减弱气流过程很可能会点燃硅烷。因为此时的硅烷蒸汽云与空气混合，温度升高—同时会达到反应所需要的理想浓度和温度 如果蒸汽云很大，产生的冲