相移阴影莫尔基于迭代LSM拟合.pdfVIP

第 4O卷第 7期 光 子 学 报 Vo1．40NO．7 20]1年 7月 ACTA PH0T0NICA SINICA July2011 文章编号 ：1004—4213(2011)07—0978—5 相移阴影莫尔基于迭代 LSM 拟合 杜虎兵 。，赵宏 ，李兵 ，李正伟 ，郑亮 ，冯磊磊 (1西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室，西安 710049) (2西安航空技术高等专科学校 ，西安 710077) 摘 要：相移阴影莫尔技术相位高度存在着非线性关系，无法在全场获得均匀相移，因而致使经典 的相移算法不能得到精确解．对此，提 出了一种基于最小方差迭代的相移 阴影莫尔技术 ，该技术通 过垂直光栅面等间距移动光栅来产生相移，但光栅移动距 离可不采用固定值，所 以相移过程灵活； 使 用在 高度解调过程 中确定的逐点相移增量来抽取精确的测量相位 ，实现 了相移 阴影莫尔技术 中 固有的相位高度非线性误差补偿．结果表明，该方法可通过干涉图计算光栅的移动量，具有相移器 的 自标定特性 ． 关键词 ：算法 ；阴影莫尔；相位 ；相移 中图分类号：O432．2 文献标识码 ：A doi：10．3788／gzx0978 帧数 ，且不要求相移值 固定 的高准确度相移阴影莫 0 引言 尔技术 ，本文提出基于迭代算法的相移阴影莫尔法． 阴影莫尔法结构简单 ，便于工业实现 ，近年来结 该方法至少需要四张干涉 图，能在相位解调过程来 合相移技术使得测量准确度和分辨率得到很大的提 确定精确的相移量 ，并可通过干涉图来标定相移器． 高_l】]．然而阴影莫尔条纹图样的相位与测量高度 的 最后 ，结合本文的降噪方法 ，实验证明了该算法优于 关系是非线性的，无法为相移阴影莫尔光场 引入一 现有的典型算法． 个全局的相移量．而近似实现 的相移阴影莫尔技术 1 理论分析 限制了测量范围，并致使经典 的相移算法不 能得 到 精确的解．2001年，Degrieck等。。提出了一种拍摄 1．1 测量原理 光栅阴影 ，通过数字相移实现的阴影莫尔技术成功 典型的阴影莫尔光路结构__2如图 1，周期为 P 地对相位高度非线性误差进行了补偿 ，但这种方法 的光栅位于XY平面且接近物体 ，探测器和光源置 不能一般化 ，因为使用小周期光栅 (如光栅周期为 于距离光栅 h的水平面上．当光源照射物面上面的 0．05ram)时，此时栅线过密 ，CCD是不能得到光栅 光栅时 ，探测器得到的光场可表述为 的阴影．最近 ，使用恒定但未知相移增量相移技术的 应用得到一些学者的关注．实际应用中，Carr6算法 干涉图的质量要求高 而测量光场往往会 因为摄像 机 的非线性响应 、相移误差等表现 出非正弦性 ，此时 Carr6算法会产生较大 的误差．对此 ，一般 的Carrfi 算法 被提出来通过较多的干涉 图(如 15张)来消 除i贝4量 中由于随机误差和噪音引起 的不确定性．但 这种方法涉及到较多的测量干涉图，而在一些场合 ， 比如在线测量 ，这是不可取的．相 比之下，使用具有 抗燥性能的Guo算法 倒是一种更好 的选择 ，然而 如何将该算法应用阴影莫尔中并没有解决． 图1 相移阴影莫尔系统结构 Fig．1 Opticalarrangementofphaseshiftingshadow moire 为了克服上面的困难 ，建立一种使用合理采样