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- 2017-05-16 发布于湖北
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[19 J 中华人民共和国国家知识产权局 [51 ] Int. C17
HOIL29/872
H01L 21/328
[12 ]发明专利申请公开说明书
[21J 申请号6
[43J 公开日 2003 年4 月 2 日 [11 J 公开号 eN 1407631A
[22J 申请日 2002.8.30 [21 J 申请号6 [74J 专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
[30J 优先权
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