辉光放电光谱技术及其应用.pdfVIP

总第 230期 河北冶全 TotalNO．230 2015年第 2期 HEBEI M ETALLU RGY 2015，Number2 辉光放 电光谱技术及其应用 刘 洁 (河北钢铁集 团 河北钢铁技术研究总 院，河北 石家庄 052165) 摘要 ：介绍了辉光放 电光谱仪的分析原理、设备构造与性能特点，重点介绍了其在金属材料表面元素含 量检测 中的应用实例 。下一步，辉光放 电光谱技术将探索用于铁合金、矿石等粉末状样 品的检测 。 关键词 ：辉光放 电光谱技术 ；分析 ；应用 中图分类号 ：TG115．3 文献标识码 ：B 文章编号 ：1006—5008(2015)02—0067—04 doi：10．13630／j．cnki．13—1172．2015．0220 GLOW DISCHARGE SPECTROSCOPY AND ITSAPPLICATION LiuJie (HebeiironandSteelTechnologyResearchInstitute，HebeiIronandSteelGroup，ShOiazhuang，Hebei， 052165) Abstract：Itisintroduced theanalysisprinciple，equipmentstructureandpropertiescharacteristicsofglow dischargespectrometer，aswellasin emphasisitsapplicationexamplesinmeasurementofsurfaceelements contentofmetalmaterials．Ashtenextstep，thetechniqueshallbeexplored to applyinpowder—like sam— plessuch asferroalloy and ironore． KeyW ords：glow dischargespectroscopy；analysis；application 0 引言 正电荷离子和 自由电子，这是一种低温等离子状态。 辉光放 电(GD)是一种古老 的、但正被赋 以许 此时 ，施加在电极两端的电压形成 的电场将正 电荷 多功能的分析光谱光源。1968年 Dr．Grimm 设计 离子加速撞击到阴极 (样品)表面上 ，使得样品溅射 使用辉光光源与光谱仪联用 ，用于铜合金的全量分 出原子 、离子及样 品材料 ，阴极溅射过程是进行辉光 析。1974年法 国的研究人员首次将辉光放 电光谱 分析的基础。在放 电区域 内，溅射元素的原子与电 仪用于镀锌板表面深度分析。辉光放电从主要用于 子碰撞吸收能量变成激发态 ，激发态原子进行 能级 金属分析的方法 ，发展成为一种适合于非金属 、薄 跃迁时产生该元素的特征光谱 ，仪器 的检测系统可 膜 、半导体 、绝缘体和有机材料的多面分析技术。辉 以对各元素能级跃迁光谱强度 的变化进行定量分 光放电光谱仪在表层和深度剖面分析方面具有分析 析。通过对单位时间内样品溅射量进行表面和深度 速度快、定量方便、价格便宜等优势。辉光放 电光谱 分析 ，如图 1所示。 仪正在被广泛应用在工厂 、实验室及研究 中心，用于 产品的质量控制和新材料的研究开发 ¨。 1 辉光放 电分析技术简介 1．1 辉光放 电