卢瑟福背散介绍.docx

卢瑟福背散【摘要】卢瑟福背散射分析（RBS）是一种对离子束进行分析的方法，其主要优点是能对材料表层的成分作纵向分析，并且无需材料的标准样品就能作定量分析。本报告主要介绍了RBS的分析原理、实验装置，并且对实验谱图和数据作了简单分析，重点是对实验谱图进行了能量刻度的标定以及计算薄膜的厚度。【关键词】RBS分析原理【引言】背散射分析就是在一束单能的质子、粒子或其他重离子束轰击固体表面时,通过探测卢瑟福背散射（库伦弹性散射、散射角大于90度）离子产额随能量的分布（能谱）确定样品中元素的种类（质量数）、含量及深度分布。因此背散射分析通常被称为卢瑟福背散射谱学RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry).【实验原理】当比靶核轻的入射离子能量范围，靶原子核外电子对入射离子的屏蔽作用不大，且离子和靶原子核的短程相互作用（核力）影响也可以忽略时，离子在固体中沿直线运动，离子主要通过与电子相互作用而损失能量，直到与原子核发生库仑碰撞被散射后又沿直线回到表面。这个过程就称为离子的背散射过程。描述离子背散射过程的三个基本物理概念主要有两体弹性碰撞的运动学因子、微分散射截面、固体的阻止截面。运动学因子和质量分辨率：运动学因子的定义：其中是入射粒子能量（动能），是散射粒子能量（动能）。根据动量与能量守恒定律，可以推导得到： (1-1)由运动学因子公式可以看出：当入射离子种类（m），能量（）和探测角度（θ）一定时，与成单值函数关系。所以，通过测量一定角度散射离子的能量就可以确定靶原子的质量数。这就是背散射定性分析靶元素种类的基本原理。质量分辨率： (1-2) (1-3)由上述公式可知知道，RBS质量分辨率是对样品中靶核质量差别的分辨能力。当一靶核质量数与另一靶核质量数的差别小于时RBS无法将这两种元素分辨开。RBS质量分辨率和以下因素有关：探测器所在处的散射角θ、探测器能量分辨率、入射离子种类、入射离子能量、靶核质量数.散射截面和探测灵敏度:设为打到单元素薄靶上的离子总数，为位于散射角上的探测器的微分立体角，为此微分立体角中探测器接受到的背散射离子数,为靶原子体积密度（），为薄靶的厚度(为靶的面密度)。定义微分散射截面为： (2-1)再对整个立体角空间求平均值可以得到平均散射截面: (2-2)因为探测器所张的立体角是有限的，故取平均散射截面.探测器接收到的背散射离子数为: (2-3) (2-4)对于一个具体的背散射实验，由于探测器所张立体角是可以测量的，如果知道散射截面。就可以通过测量探测器接受到的离子数和入射离子总数由上式计算出靶原子的面密度。这便是背散射定量分析的基本原理。由于散射粒子计数正比于散射截面，故截面越大，计数越多，分辨越好。卢瑟福散射截面公式： (2-4)根据上式可以判断关于RBS灵敏度有如下结论：微分散射截面正比于，因此用较重入射离子可提高探测灵敏度；微分散射截面正比于，所以重元素的探测灵敏度高于分析轻元素，即背散射较适用于轻基体上的重元素分析，不适合重基体上的轻元素分析；微分散射截面反比于，所以背散射分析灵敏度随入射离子能量降低而提高。另外，从公式还可以得到，当散射角减小时，散射截面增大很快。因此在质量分辨率不成问题时，可利用此性质适当减小角度来提高灵敏度。能量损失因子和深度分辨率：能量损失在离子在某固体中做直线运动的过程中，离子主要通过与靶原子的电子相互作用以及沿途的小角度碰撞作用而损失能量，如图1所示。则定义离子在单位径迹长度上损失的能量为：(3-1)为比能量损失或叫作能量损失率，也叫作这种固体的阻止本领。定义能量损失后，可确定不同深度散射出的离子同表面散射出的离子能量之差。从而建立RBS能谱宽度和靶厚度之间的关系。阻止截面用能量损失来计算能量损失因子的缺点是:它随靶的元素组成及密度而变化，因此对于具体的靶很难查到能量损失率数值。为此引入阻止截面或叫做阻止本领的概念。单原子靶材料的原子密度为，一定能量的入射离子在此材料的能量损失为。则定义为此种靶原子对能量的入射离子的阻止截面。能量损失因子在同一角度，探测到的被靶表面靶原子散射的离子能量和被深度处靶原子散射的离子能量之差为： (3-2)当入射和出射路径上的能量损失用一个常量（如平均能量损失率）来代替时得到了同深度的关系为： (3-3) (3-4)定义为能量损失因子，则：。这样，由能量损失因子就可以把背散射能谱中的能量坐标换算成深度坐标，并根据不同深度处能谱高度就可以得到元素的深度分布。RBS深度分辨率如果RBS探测系统能量分辨率为,不同深度和背散射到探测器的离子的能量差为.则只有在时,探测系统才能区分这两个不同的散射深度。把对应深度差别定义