金属有机化学汽相淀积生长的本征氮化镓中持续光电导和复合机制的研究.pdfVIP

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2017-05-17 发布于北京
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金属有机化学汽相淀积生长的本征氮化镓中持续光电导和复合机制的研究.pdf

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稀萌金属材料与工程第 35 卷增刊 3 Vo 1.35, Supp1.3 2006 年 12 月民ARE METAL MATERIALS AND ENG刑EERING December 2006 The 6th East Asia Conference on Chemical Sensors Gas Sensor ßased on Interdigitated Gate Electrode Field Effect Transistor 1 3 4 2 Tong Zhang 气 Sheng Qiang 1, Frank Lewis , Edward S.Kolesar and Yalin Wu , 1 Xiaozhu Che , Hongquan Zhang (1. Harbin Institute ofTechnology, Harbin 150001 , China) (2. Automobile Electronic Engineering Technology Research and Development Center, Harbin 150001, China) (3. The University ofTexas atArlìngton , Arlington , T X 76019 , USA) (4. Texas Christian University, Fort Worth , T X 76129 , USA) 巳mail: zhx@hit. edu.cn (. Corresponding author) Abstract: The paper presents a new method for fabricating a gas-sensitive micro-sensor based on MEMS. The primary target agents are nitrogen dioxides (N0 2), and DlMP. Past-per-billion concentration levels ofthese two chemicals can be detected. An interdigitated gate electrode field-effect transistor (IGEFET) has been coupled with a chemically幽active and electron-beam 巳vaporated copper phthalocyanine (CuPc) thin film to implement a ga