第三章 嫌胫代仪器总体设计(6学时).ppt

第三章 现代仪器总体设计 （Overall Design of Modern Instrument） 一台仪器往往是解决某项工程中的一个环节，因此仪器的总体设计者首先应了解仪器在该工程项目中的地位和所起的作用。 仪器作为一个产品，其市场定位要准确，特点要突出。 仪器总体设计就是根据仪器要解决的工程问题（或客户要求）、市场定位和现有的技术水平，为用户提供性能先进、功能合理、经济可靠、美观实用、操作方便和高效率的测试手段和平台。 仪器是一个复杂的系统，涉及机、电、光、磁、液、气、计算机、信号处理等多种学科，仪器总体设计是复杂而重要的，是必不可少的一个环节。 仪器总体设计主要考虑以下问题： 1.设计任务书 2.信号转换及传输方式 3.精度设计 4.技术指标确定 5.结构参数 6.可靠性、实用性、经济性、外观造型等 7.总体方案确定 仪器设计完整过程流程： 仪器的应用场合不同，比如，有专用仪器、通用化和系列化仪器产品，还有新设计开发的仪器产品。因此，对设计任务分析的侧重点有所不同。通常设计任务分析涉及以下几个方面的内容。 1.明确仪器在系统中的地位 测量、控制 工作原理 精度 测量范围 接口方式 工作环境 其它 2. 使用要求 由使用环境或用户提出 3. 了解被测参数的特点 被测参数定义，如长度、角度等 精度要求（关键），比如，中等精度、高精度及超高精度，会导致原理、结构、成本等的巨大差异。 通常，仪器的精度应为被测参数精度的1／3,对于高精度仪器，其设计精度也可为被测参数精度的1／2－1／10. 被测参数的数值范围。一般仪器的测量范围应大于被测参数的范围，但不要超过太多。 被测参数的性质。比如，单参数、复合参数、直接测量、间接测量等 被测参数的状态。比如，瞬态、稳定、静态、动态等。 4. 了解被测参数载体特点 指实测对象，比如，各种机械零件、电气元件、设备、各种信号 5. 了解仪器其它要求 操作方式、承载能力、外形、尺寸、重量、工作环境应力水平等。 6. 专利文献、国内外相关技术及产品。 3.3 仪器结构参数及技术指标确定 仪器结构参数及技术指标反映仪器的概貌特点、性能和功用的具体参数。它是设计仪器的基本依据，也是检验仪器产品质量的依据。 仪器的结构参数及技术指标是根据仪器的功能、精度要求、测量范围、使用要求和使用条件以及有关标准规定等诸多因素来确定的。 不同的仪器有不同的结构参数及技术指标。比如，体积、重量、尺寸、精度、测量范围、频率响应、灵敏度、信噪比、可靠性、故障率等等。 参数及指标不能随意增减，技术等级不能随意更改。要有科学依据。 1. 确定方法 （1）.根据设备用途确定主要参数和技术指标 一般来讲，一台仪器设备，只要能够满足其使用要求就可以了。 从仪器科学技术的角度讲，高、精、尖是不断追求的目标。 从市场的角度讲，应适应市场的需求。 技术指标的提高一般伴随着经济成本的提高和研制周期的增加。 对于用户提出的仪器设计指标，要根据此转换成设计者的参数和指标。 对于创新型的新仪器研制，其指标要根据使用场合、使用环境及市场调研来确定。 （2）.根据测量（加工）对象的主要尺寸确定主要参数和技术指标 例1.微细加工中，分步相机或光刻机x、y轴行程确定。 确定精密工作台的行程，如加工直径200mm的硅片，工作台和行程应大于此值，一般选为205－210mm （3）根据测量（加工）精度确定主要参数 例1. 自动分步重复光刻机工作台的定位精度。 加工线宽为2um－3um，其套刻的位置误差允许是线宽的1／2－1／5,那么，工作台的定位精度应为±0.5um－±0.25um 例2.灵敏杠杆杠杆比的确定 3.4 仪器设计若干原则及原理 在仪器的设计中，一些设计原理和设计原则可有效地提高设计质量。 一.若干设计原则 1. 阿贝原则及其扩展 重要原则，尽量遵守。 古典阿贝原则，阿贝于1890年提出，它是一项测量仪设计的指导性原则，表述如下： 要使量仪给出准确的测量结果，必须将被测件布置在基准元件沿运动方向的延长线上。 有时，也称共线原则。 下面详细说明这一原则。 以线纹尺测量为例讲解阿贝原则 图中共有三种测量方式，一是并联方式（图（a））；二是串联方式（图（b））；三是横向移动式（图（c））。 问题：三种测量方式哪种产生的测量误差最小？（也即精度最高意义下的最佳设计方案） 要搞清这个问题首先应该清楚三种方案的测量原理。 （1）.测量原理 图（a）采用并联方式，标准尺S与被测尺W安装在 x-y平面内，瞄准用显微镜M1与计数显微镜M2都刚性地固定在悬壁支架B上，并与x-y平面垂直。工作时，先用M1,M2瞄准，后移动工作台（