无尘室第三版.ppt

無塵室的應用場所 工業用潔淨室:半導體,電子工業,光學機器,精密機械與塗佈,航太工業等等 生化及醫藥用潔淨室:製藥,醫院,生物科技等等 空調箱構成簡易說明 無塵室與空調箱間關係 無塵室空調設計簡介 無塵室隔間材的介紹 無塵室地板簡介 供應無塵室空調用風管簡說 無塵室之佈置介紹 無塵室的驗收及試運轉前準備 * WYL001 製表整理:梁文譽 整理日期:88年 再重編日:90年12月 WYL002 聯邦標準 FS209公佈 1963.12 修正為 FS209A 1966.8 修正為 FS209B 1973.4. 再修正 FS209B 1977.5. 1987.10. 修正為 FS209C 1988.6. 修正為 FS209D 1992.12. 現在 修正為 FS209E 修正為 ?????? #濕度=45%RH #潔淨度等級分類 @0.5μm class 100 class 10000 class 100000 #氣流修正=90±20%RH #濕度=40%RH ± 5%RH #增加 class 1000 #增加 class 1,10 particle 增加粒徑 @0.3,0.2,0.1 μm 之 標準測定值 #增加 比class 1等級更高的 Class M1 增加 比class 100000等級更低的 Class M7 無塵室的發展史 無塵室廣泛定義: 1.係指在一工作環境中,其作業環境無落塵 或是空氣中無任何浮游粒子存在? 2.或以目前泛用無塵室之潔淨度(CLASS表示) ?CLASS 1即每一立方英呎室內中空氣中 浮游粒子大於或等於0.5um的數量不超過 一顆? WYL003 無塵室的定義 外氣 乾淨的空氣 大氣 空氣過濾 無塵室 我大於0.5um 無塵室的定義 WYL004 無塵室的標準要求: 一般而言,生產作業中的產品對環境有其相對需求 除潔淨度的要求外,溫度與濕度的控制也會影響到 產品品質? 目前,除了上述的要求外,有害氣體與安全上的考量 也越來越受到重視喔! 友好的環境條件,會使我的精確性維持一定的水平….. WYL005 無塵室等級的區分 WYL006 CLASS 塵徑 塵數 M1 1 10 100 1000 10000 100000 M7 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 350 10 76 2 30 0 10 0 1240 35 265 8 106 3 35 1 12400 350 2650 75 1060 30 353 10 26500 750 10600 300 3530 100 35300 1000 353000 10000 3530000 100,000 1,000,000 280,300 煙塵粒徑約1um;頭髮約100um 無塵室各等級的應用 WYL007 更衣室 緩衝室 洗塵室 休息室 一般走道 生產區 class1000 class100000 class10000 class1000000 除塵區 安全門 WYL008 無塵室環境需求的設定 一般需在無塵室生產的產品,對其生環境有一定的要求. 舉例來說: 1.對溫度的要求,如22度±1度?35度±2度等等 2.對濕度的要求,如55%RH ±5%RH,60% ±5%RH等 3.無塵等級的要求,如CLASS1000或CLASS10000等 至此又可區分動態及靜態的需求. 4.噪音的防止及隔間氣密性要求 5.靜電的防止 6.粉塵產生的防止 7.有害氣體的排除與處理 8.符合消防區劃之要求等等 無塵室環境條件的規劃 無塵室內的規劃是非常重要的,其內部設備的配置會影 響到爾後的無塵室設計. 話題主旨:除了設備的佈置外,我們也需要提供與收集一 些製程上可能的數據予以量化.此量化的數據十分重要. 這些數據可以讓規劃工程師與設備工程師了解,未來製程 上設施的功能規劃與週邊可能所需要的配合設備有那些. 例如:1.由產品需求反推所需設備的設計討論~預估需求電量 2.由製程中推知可能產生有害氣體有那些與含量有多少 ?~預估廢氣處理設備的所需處理的量(CMM)與無塵室 內所需補回的風量有多少,以維持無塵室的壓力. WYL009 WYL010 無塵室的設計分類 區分下列四種設計方式: