MOEMS-2D扫描镜的研究进展.pdf

2016 35 6 (Transducer and Microsystem Technologies) 年 第 卷第 期 传感器与微系统 1 — — — 檸檸檸檸檸 DOI :10． 13873 /J． 1000 9787 (2016)06 0001 03 殠 檸 殠 檸 综述与评论 殠檸檸檸檸檸殠 MOEMS 2D 扫描镜的研究进展 1，2 1，2 1，2 2 马 ， ， ， 天义 余 跃 许 敬 吴建东 (1． ， 海201109 ; 上海航天控制技术研究所 上 2 ． ， 201109) 中国航天科技集团公司红外探测技术研发中心 上海 : (MOEMS) 、 ， 摘 要 微光电子机械系统 扫描镜凭借其在成本 功耗和封装上的优势 在军民用多领域都有 。 MOEMS ， ， 广泛的应用前景 在分析 扫描镜的分类方式的基础上 针对静电驱动中的微机械集成方式 展开 MOEMS ， ， 框架式和无框架式两种 扫描镜的工作原理的探讨 并给出了典型产品及系统应用 总结了目前在 MOEMS 。 MOEMS ， 扫描镜的系统应用方面存在的难点问题 介绍了国内 扫描镜的研究现状 并分析了与国 外产品的差距。 : ; ; ; 关键词 微光电子机械系统 扫描镜 静电驱动 框架式 — — — 中图分类号:TN27 ;TN249 文献标识码:A 文章编号:1000 9787 (2016)06 0001 03 Ｒesearch progress of MOEMS 2D scanning mirror MA Tian-yi1，2 ，YU Yue1，2 ，XU Jing1，2 ，WU Jian-dong2 (1． Shanghai Institute of Spaceflight Control Technology，Shanghai 201109 ，China ; 2． Infrared Dete