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聚合物多模干涉微环谐振器的设计与分析_吕桓林

: 吕桓林等 聚合物多模干涉微环谐振器的设计与分析 10 《 》20 16 37 5 LASER JOURNAL (Vol. 37 ,No. 5 ,20 16) 激光杂志 年第 卷第 期 聚合物多模干涉微环谐振器的设计与分析 1,2 2 2 2 2 , , , , 吕桓林 韩秀友 武震林 梁宇鑫 赵明山 1. , 116034 ; ( 大连工业大学信息科学与工程学院 辽宁大连 ) 2. , 116024 大连理工大学物理与光电学院 辽宁大连 : 。 摘 要 聚合物基微环谐振器作为低成本和易制备的集成光子器件受到了广泛的关注 利用多模干涉的 , 2 ×2 50 ∶ 50 。 / 自映像理论设计了微环谐振器 在直波导和环之间以 多模干涉耦合实现 的分光比 在输入 输出 。 TE / TM 波导和多模干涉耦合区连接部分引入了锥形结构以提高性能 分析了 波多模干涉区制备容差对附加 。 。 200 m 损耗和均衡度的影响 分析了不同残留层厚度下正脊型波导的弯曲损耗 进一步仿真了半径为 μ 微环的 。 。 光谱响应 仿真结果表明设计极大的提高了微环的性能 : ; ; ; 关键词 多模干涉耦合器 微环谐振器 束传播方法 正脊型 中图分类号:TN252 文献标识码:A DOI 编码:10. 140 16 /j .cnki.jgzz. 20 16. 05. 0 10 Design and Analysis of Polymer Microring Resonator With MMI Coupler 1,2 2 2 2 2 LV Huan-lin ,HAN Xiu-you ,WU Zhen-lin ,LIANG Yu-xin ,ZHAO Ming-shan ( 1.School of Information Science and Engineering ,Dalian Polytechnic University ,Dalian ,Liaoning 116034 ,China ; ) 2.School of Physics and Optoelectronic Engineering ,Dalian University of Techno

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