原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
确定薄膜厚度和光学常数的一种新方法
第24卷 第 7期 光 学 学 报 Vol.24,No.7
2004年7月 ACTA OPTICA SINICA
July,2004
文章编号:0253-2239(2004)07-885-5
确定薄膜厚度和光学常数的一种新方法 ‘
沈伟东 刘 旭 叶辉 顾培夫
(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，杭州310027)
摘要:借助于不同的色散公式，运用改进的单纯形法拟合分光光度计测得的透过率光谱曲线，来获得薄膜的光学
常数和厚度。用科契公式分别对电子束蒸发的TiO:和反应磁控溅射的Si,N,，以及用德鲁特公式对电子束蒸发制
备的ITO薄膜进行了测试，结果表明测得的光学常数和厚度，与已知的光学常数以及台阶仪测得的结果具有很好
的一致性。这种方法不仅简便，而且不需要输人任何初始值，具有全局优化的能力，对厚度较薄的薄膜也可行。采
用不同的色散公式可以获得各种不同薄膜的光学常数和厚度，这在光学薄膜、微电子和微光机电系统中具有实际
的应用价值。
关键词:薄膜光学;光学常数 ;色散公式;单纯形法
中图分类号:0484.5 献标识码.A
ANewMethodforDeterminationoftheOpticalConstants
andThicknessofThinFilm
ShenWeidong LiuXu YeHuiGuPeifu
(StateKeylabsofModernOpticalInstrumentation，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027)
(Received30May2003;revised11September2003)
Abstract:Basedonthedispersionequations,DownhillSimplexmethodisutilizedtomeasure
thethicknessandopticalconstantsofthinfilm byfittingthecurveofmeasuredtransmission
spectrum.TiO,，Si3N,thinfilmsdepositedbyelectrongunevaporationandreactivemagnetron
sputteringrespectivelyaremeasuredwithCauthyformulaandITOfilmdepositedbyelectrongun
evaporationwithDrudeformula.Experimentsshowthattheresultsgotbythismethodandby 『
stepapparatusagreewell.Noinitialinputisnecessaryforthissimplemethodtorealizetheglobal
optimization.Withvariousdispersionformula，itisalsosuitableformanykindsoffilmswith
thinnerthickness,whichwillbeusefulinthinfilm optics,microelectronicandmicro-optical
electro-mechanicalsystem (MOEMS).
Keywords: thinfilm optics;opticalconstantsofthinfil
文档评论（0）