氟化物材料在深紫外波段的光学常数_薛春荣.pdfVIP

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2017-05-20 发布于浙江
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氟化物材料在深紫外波段的光学常数_薛春荣

58 7 2009 7 　　　 Vol.58, No.7, July, 2009 1000-3290 2009 58(07) 5035-06 ACTA PHYSICA SINICA c2009 Chin.Phys.Soc. ＊ 1)2)3) 2) 2) 2) 2) 薛春荣　易　葵　齐红基　邵建达　范正修 1)(, 　215500) 2)(, 　201800) 3)(, 　230029) (2008 527;2008 12 8 ) 　　6 , LaF , NdF , GdF MgF , AlF , Na AlF ; lambda900 3 3 3 2 3 3 6 190— 500 nm ;, , 6 , . :, , , PACC:8115G, 7280, 8140, 4270 LaF3, NdF3, GdF3 1.引言 MgF2, AlF3, Na3AlF6, 1, P0 , P , DR , d . , 、, ;, 250 ℃. . 1　、 -3 -3 D (nm s) P 10 Pa P 10 Pa d nm [ 1—4] O R , , LaF 0.933 1.07 0.23 680 [5, 6] 3 , NdF 1.13 1.6 0.16 597 355 nm, 248 nm, 193 nm, 157 nm 3 GdF3 1.33 2.4 0.43 1007 , , MgF2 1.33 1.47 0.21 664 ., , , AlF3 1.2 1.47 0.6 947 Na AlF 1.2 1.33 0.42 1241 . 3 6 , 2.氟化物光学薄膜的沉积和测量