基于计算全息的光学自由曲面测量不确定度分析_黄亚.pdfVIP

第35卷 第11期 光 学 学 报 Vol.35,No. 11 2015年11月 ACTAOPTICASINICA November,2015 基于计算全息的光学自由曲面测量不确定度分析 黄 亚 马 骏 朱日宏 沈 华 高志山* 南京理工大学电光学院,江苏南京 210094 摘要 光学自由曲面元件如离轴非球面等在现代光学系统中起到了越来越重要的作用。计算全息元件(CGH)可产 生任意形状的波前，能够很好地应用在光学自由曲面的零位补偿干涉测量中。针对一离轴椭球面为测量样品，以 光学计量领域比较成熟的Offner补偿器法，测量离轴非球面母镜的面形偏差，进而获得离轴椭球面的面形偏差；再 将离轴椭球面通过旋转平移，