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EDS简介详解
能量色散X射线光谱仪(EDS)简介;内容提要;EDS的基本检测原理;特征X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后，在晶体内产生电子-空穴对。在低温下，产生一个电子-空穴对平均消耗能量为3.8ev。能量为E的X射线光子产生的电子-空穴对为N＝E/3.8。;EDS的基本检测原理;EDS的特点;EDS的主要用途;EDS的定量分析方法及原理;试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量成比例，所以只要在相同条件下，测出试样中A元素的X射线强度IA与标样中A元素的X射线强度I(A) 比，近似等于浓度比：
KA =I A /I (A) ～ C A /C (A)
当试样与标样的元素及含量相近时，上式基本成立，一般情况下必须进行修正才能获得试样中元素的浓度。
KA =C A /C (A) ×(ZAF) A /(ZAF) (A)
(ZAF) A 和(ZAF) (A) 分别为试样和标样的修正系数;EDS半定量分析原理;几种常见元素的EDS图
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