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IC行业特种气体简介 主讲部门：华特销售部 主讲部门负责人：张均华 主讲人：李渊 IC的定义 IC即集成电路，是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。 IC行业通常包括设计、制造及封装三大块。与我们气体相关主要是其制造模块，另外封装模块也涉及很少的一部分。 * 特气在IC行业里面的应用 电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺： 薄膜沉积； 刻蚀； 掺杂； 钝化； 清洗； 或用作载气、保护气氛等等。 * * 特气在IC体制造中的应用-工艺 Wafer-Probe Test (Front end or back end) Assembly Final Text Ship to Customer Other Processing: -Ion Implant Diffusion CMP Photolithography -Resist Coat -Bake -Exposure Etch Film -Plasma -Wet Etching Deposit or Grow Film -Oxidation -Metallization -CVD Material Preparation: Epitaxial Growth (Optional) LPCVD M