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* * 无尘室知识 Prepared by: Training Center Date: November-12-2002 目 录 尘粒的知识 无尘室知识 隨著硬碟机技術不斷發展，對磁 頭行業的要求也越來越高，生產 區域的高洁淨度就是其中之一。 污染定义 污染危害 污染來源 污染的去除 污染的逐級清洁控制 污染基础知识 一.污染定义 a).所有存在于產品上，會對產品產生直接或 間接危害的物質； b).所有存在于產品上，超出產品要求之外的 物質； c).任何客戶不允許存在于產品上的物質。 二.污染危害 a).撞碟； b).電路短路：導電物質在IC線路間； c).ESD：不導電物在IC線路間，靜電積聚 Charge ESD； d).粘結力不夠：加膠； e).腐蝕，溫度積聚。 三.污染來源 人是無塵室中污染的最大來源。無塵室 空气中檢測到的污物中，80%來源于人，15% 來源于工具和設備，5%來源于環境。 四.污染的去除 a).清洗 清洗拉：通過在水中加入洗滌劑，用超 聲波進行清洗。 b).無塵室 污染控制的一個最大突破是無塵室 的使用。 擦洗：用棉簽蘸溶劑水擦除灰塵、污漬。 五.污染的逐級清洁控制 即從外圍環境到工作區域進行台階式漸進 控制，直至達到工作環境要求。如下圖1： 无尘室 Clean Room Class100/1K/10K/100K 办公室 + 普通工场 Class300K SAE Class 500-800K 无尘室定义 无尘室分类的定义 SAE无尘室级别 无尘室工作原理 无尘室组成 无尘室的控制 无尘室控制思想 无尘衣使用与存放 附录 无尘室知识 使室內(厂房)空气的塵粒、溫度、濕度壓力 等技術指標成為一穩定受控的區域，用來保 証某一生產或試驗過程所必需的環境要求， 該區域即被稱為無塵室。 一、無塵室(Clean Room,C/R)定義 二 、無塵室分類定義 1. 無塵室分類定義：公制和英制 每立方米空间中含有大于或等于直徑為0.5 ? m的塵粒总數，用10m表示。如果无尘室每立方米空间含有大于或等于直徑為0.5 ? m的塵粒1000粒，10m=1000=10?,那么该无尘室就被称为M3级。 公制定義方式： 即直接用該區域每立方英尺空气中大于等于直徑為0.5 ? m的塵粒個數作為定義標准。 英制定義方式： 我厂通常采用英制定义方式。 三. SAE無塵室級別 SAE現有四种級別的無塵室： Class 100/1K/10K/100K 塵粒總數 0 1 10 100 1000 (1K) 10000 (10K) 100000 (100K) Class-1 Class-10 Class-100 Class-1K Class-10K Class-100K SAE Class级别 无尘室级别示意图 四、無塵室工作原理 1.無塵室的工作原理 无尘室工作原理示意图 2.風浴室 回風口(网) 回風口(网) 新鮮空气 預過濾器 空气泵 溫濕調節器 中放過濾器 渦流區 高效清洁過濾器 1.C/R(工作區域) 3. 更衣室 SAE无尘室工作原理如下图： 更衣室、風浴室、無塵室(工作區域) 更衣室： 相對普通工場及辦公室而言，是一個更 洁淨的區域，主要用來穿脫無塵衣，新 厂(DGN2)更衣室也有貯存工衣之效果， 其目的是配合MR Project 對濕度的嚴格 要求，同時也能保証無塵衣貯存在一個 相對清洁的區域內。 五、無塵室的基本組成 風浴室：兩側牆壁上密排空气噴咀，它能噴出 1624M/S的高速洁淨的空气，其目的 是用強的洁淨空气流吹去無塵工衣表 面