复旦大学精品《》,电子与电子元器件腐蚀复习精品技术总结.pdf

电子材料与电子元器件腐蚀 蒋益明 材料二楼301 ymjiang@fudan.edu.cn 主要内容 • 电子材料与器件的可靠性 • 电子材料与器件的失效分析 • 电子材料与器件的腐蚀形态 • 应用举例 电子材料与电子元器件 • IT产品：3C计算机(Computer) 通信(Communication) 家用电器(Consumer electronics) – 基板及元器件和连接部分“堆垛”而成 – 最基本单元:材料+元器件 • 电子材料:发挥其物理化学特性用于IT工业的材料 – 性能：声 光 电 力 热 磁 – 分类：半导体材料、介电材料、压电及铁电材料、磁性材料、 某些金属材料、高分子材料 • 电子元器件:电子材料经特殊工艺,在IT产品中起各种作 用的电子部件 – 集成电路器件 显示器件 传感器件 电池 电子元器件的可靠性 • 可靠性:产品在规定的条件下和规定的时间 内, 完成规定功能 的能力 • 规定条件：环境条件 （温度、湿度、气压、盐 雾、辐射、振动、冲击、碰撞、跌落等）、负 荷条件 （电、热、力等应力）和工作方式 （连 续或间断） • 规定时间 ：可靠性是时间的函数 电子元器件的失效规律 • 早期失效：失效率高，实效率随时间增加而下降，由特定的普 遍性原因造成 • 偶然失效：失效率低，良好使用阶段，失效是由不太严重的偶 然因素引起 • 损耗失效：失效率明显上升，大部分器件相继失效，失效是由 带全局性的原因引起（老化、磨损、耗损、疲劳等）造成 器件的设计、制造应使其尽快进入偶然失效期 ，推迟损耗 失效期的到来 电子元器件的失效分析 器件失效后，通过对其结构、使用和技术文件的系统研究，鉴别失 效模式、确定失效原因、机理和失效演变的过程 失效分析研究的内容 什么 What Failed? 器件失效（氧化层 击穿，管脚蚀断等） 怎么 0.008 0.007 2 0.006 m