第四章 敏感元器件参数测量-liby2017.pdf

《电子材料与元件测试技术》 第四章 敏感元件的测量2017 黎步银 4.1 敏感元件测量的基本概念 信息处理技术的进步，微处理器技术和计算机技术的发展使 得传感器也得到了相应的发展。微处理器广泛应用于测量和控制 系统。随着这些系统的增加，在信息接收中扮演着最重要角色的 传感器也有了相当的增加，并且需要更大的发展。在自动化和遥 控技术中，传感器扮演着越来越重要的角色，作为系统的敏感元 件也获得了更大的重要性。 通常来讲，传感器是将物理或化学量转换为便于利用的电信号 的仪器装置。根据国际电工委员会（IEC），“传感器是将变化 的输入量转换为便于测量的信号的测量链中最重要的部分。根据 Gopel et al,“传感器是带有存储和电子连接的传感元件”“传感 系统是带有某种信号处理（模拟或数字）的传感器。”传感器包 含在传感器系统中，是输入被测信息的第一个元件。 A MICRO- QUANTITY SENSOR SIGNAL PROCESSOR BEING MEASURED Sensing SHAPER D element 图4.1.1传感系统方框图 4.1 敏感元件测量的基本概念  传感器的功能常被比作人的五种感觉器官：  光传感器 －视觉  气体传感器 －嗅觉  压力、温度、流量等传感器 －触觉  声传感器 －听觉  化学传感器 －味觉  与现代传感器相比，人的感觉功能更强大。然而，有些传感器相应的功能要优 于人的能力。例如，人不能感觉到紫外或红外线的辐射、电磁场、无味气体等 电阻式敏感元件：指电阻值随某种物理量（如温度，湿度，压力等）的变化 而按一定规律变化的元件。 一、电阻式敏感元件的分类 电阻式敏感元件的种类很多，如热敏电阻、力敏电阻、湿敏电阻等。构成 这些敏感电阻的材料，有氧化物半导体、单晶半导体、有机高分子等。这 些材料基本都属于半导体的范畴，因此测量方法上与介质材料有很大区别。 二、零功率测量 过高的电压可能造成敏感元件的失效，同时可能使测试结果造成很大的误 差，所以一般敏感元件的测量均要求在零功率下进行。所谓零功率，指加 在元器件上不足以使元件本身明显发热而引起阻值变化的电功率（即将自 热效应减小到可以忽略不计的程度）。 4.2 热敏电阻器的测量 一、热敏电阻器Thermistor简介 1.基本结构、外形和符号 根据电阻与温度的函数关系，电阻性的传感器可以分为 NTCR-热敏电阻 Resistor of Negative Temperature Coefficient PTCR-热敏电阻 Resistor of Positive Temperature Coefficient CTR－热敏电阻Critical Temperature Resistor NTC-热敏电阻是具有负的温度系数的电阻;PTC-热敏电阻具有 正的温度系数;CTR－热敏电阻是作为临界温度传感器而著名 的,在一个有限的温度范围内，它们的电阻能突变几个数量级。 它们通常由金属氧化物陶瓷半导体材料或碳化硅材料经成型、 烧结等工艺而制成。 常见热敏电阻器的外形和符号如图4-2-1所示。其中珠粒状 热敏电阻器采用玻璃封装，体积小而传热快。圆柱状热敏 电阻器用树脂或玻璃封装，其外形有的与一般玻璃封装的 二极管相似，有的与普通电阻器相似。圆片状热敏电阻器 一般采用树脂封装，也有好几种不同的尺寸。 图4-2-1 热敏电阻器的外形和符号 附图一常见的热敏电阻实物图