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第39卷 第6期 电 子 器 件 Vol.39 No.6 2016年12月 ChneseJourna o EecronDevces Dec. 2016 InvestigationofNaturelConventionHeatTransferAround MicroscaleSiliconNitrideSurfaceUsingComparativeMethod* HUANGZhengxing ，GUANJingwei，WUHao，YUjun，TANGZhenan* （SchoolofElectronicScienceandTechnology，Dalianuniversityoftechnology，DalianLiaoning 6024，China） Abstract：Microscalenaturalconvetionheattransferisverydifferentwiththatatmacroscale.Comparativemethod isusedtoinvestigatenaturelconventionheattransferaroundhorizontalsurfaceofthemicroscalesiliconnitride. MicroHotPlate（MHP）withactivityareaof43.5 μm×43.5 μm，whichismanufacturedbystandardCMOSand simplepost- CMOSprocesses，isusedformeasurement.Andaccuracyofthemethodisstudiedbyfiniteelement simulation.Theresultsshowthattheairconductanceofhorizontalsiliconnitridesurfaceis2.63×10- W/K.The naturelconventioncoefficientis1.39×104 W/（m ·K），whichismuchlargerthanthatatmacroscale.2 Keywords：microscale；naturelconventionheattransfer；comparativemethod；micro-hotplate EEACC：2550 doi：10.3969/j.issn.1005 9490.2016.06.002 比较法研究微细尺度氮化硅表面自然对流换热* 黄正兴 ，关经纬，吴 昊，余 隽，唐祯安* （大连理工大学电子科学与技术学院，辽宁大连116024） 摘 要：微细尺度的对流换热与常规尺度的有很大不同，采用比较法研究了微细尺度水平氮化硅表面空气自然对流换热的 问题。利用标准CMOS工艺和简单的postCMOS工艺制作出微热板（MHP）测试结构并实验测试，对测试方法的准确性进行了 有限元仿真。结果表明：面积为43.5μm×43.5μm的水平氮化硅表面的自然对流的传热热导为2.63×105 W/K，由此计算出的 自然对流系数高达1.39×104 W/（m ·K），远远高于常规尺度下空气自然对流系数。2 关键词：微细尺度；自然对流换热；比较法；微热板 中图分类号：TN407 文献标识码：A 文章编号：1005 9490（2016）06 1287 05 许多微细尺度下的物理现象与常规尺度的有 ［6］ 的值。本文制作出了测试结构采用比较法 研究了 ［1］ 6 很大不同 ，比如当物体尺寸缩小10倍时，物体的 微细尺度氮化硅表面自然对流换热问题。 比表面积就增大106倍，导致与此相关的力、燃烧、流 1 比较法测试对流传热原理 动和传热现象产生很大的变化。对于微细尺度传 热研究来说，它是20世纪80年代为解决微电子器 1.1