电子元器件应用-客制化元件模型之参数萃取程.pdfVIP

客制化元件模型之參數萃取程 作者：台灣安倫科技股份有限公司 電子儀器事業群 資深應用工程師　許仲延 Jackson Hsu 一、簡介 隨著電子消費產品不斷的推成出新，產品必須多元化才 及 ADS/RFDE-Momentum 兩種軟體建立模型。並且提出有 能符合消費者的需求，但是除了產品多元化之外，產品的特 效率的萃取流程 (Extraction Flow) 以及方式。圖 1 為元件設計 性以及穩定性也相當重要。要達到這基本的要求，就必須要 與模型化建立的流程圖，首先利用 ADS/RFDE-Momentum 完 有良好的電路設計技術以提供一個穩定而且準確的電路特性 成所需要的電路佈局圖，接著再以 ADS/RFDE-Momentum 針 來達到產品的要求。一般在設計電路時不外乎是利用晶圓代 對被動元件做 EM 電磁模擬 (Electromagnetic Simulation) 值， 工廠 (Foundry) 所提供的元件模型 (Device Model) 來模擬含括 如果我們已經根據實際的基板量測值做過基板參數校正，則 數十顆或是上百顆元件的複雜電路，而不管在數位或是類比 該電磁模擬結果就可以當成實際量測的重要參考依據。當元 積體電路 (IC) 設計都需要主動 (Active) 以及被動 (Passive) 兩 件設計完成後，接下來就以 IC-CAP 做為元件量測與參數萃 種元件，因此元件模型的建立變成相當的重要。一個正確建 取的軟體工具。整個客制化元件模型的過程，就只需要這兩 立模型的方法必須要有一定的步驟，如此才能節省不必要的 種軟體即可完成。而且 IC-CAP 與 ADS/RFDE-Momentum 除錯程序以達到事半功倍的效果。本文將以被動元件電感 有平台相互連結的功能，所以只需要在一個工作平台就可以 (Inductor) 、電容(Capacitor) 為例，利用安捷倫的 IC-CAP 以 實現模型的建立。 圖 1 元件設計與模型化概念流程 二、被動元件電路佈局圖 A 、Substrate 特性的萃取 利用 ADS/RFDE-Momentum 可以完成電路的佈局圖， 首先開啟主視窗如圖 2 所示，選定 Layout 的形狀後就可以在 主視窗裡完成佈局圖。由於被動元件不像主動元件那麼複 雜 ， 基 本 上 只 需 要 兩 層 金 屬 即 可 實 現 。 這 裡 介 紹 利 用 ADS/RFDE-Momentum 軟體來完成電路佈局圖。首先必須 設定有效的基板 (Substrate) 參數，一般晶圓廠都會給定一組 原始的基板參數，使用者必須以這組參數當作基礎來萃取實 際上的基板參數。 圖 4 基版厚度設定 接下來，因為元件是利用基板上的金屬來完成，所以必 須要設定上層金屬的厚度/導體參數以及氧化層的介電參數。 如圖 5 所示，設定最上層金屬參數的厚度以及電導值 (Conductivity) ，其電導值函括實部(Real = 0.017) 以及虛部 (Imag = 0) 。相同的可以根據製程上的變化以及要求來設定不