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电容式微位移传感器设计及其应用研究_孙立宁
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2005 24 10 (Journal of Transducer Technology) 13
孙立宁, 晏祖根
( , 150001)
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。: 0. 1μm, 0. 2%;
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:TP212 :B :1000 -9787(2005)10 - 0013 -03
Design of capacitancem icro-displacement sensor and its application
S N L-ining, YAN Zu-gen
(Robotic Ins,t Harb in Institute of Technology, Harbin 150001, China)
Abstrac:t The principle of the robot system based on error compensation is presented. The micro-displacement
capacitance sensor and its signal conditioning circuit are designed by adopting equipotential annulus technology
and driving cable technology. Experimental results show that the sensor’ s non linearity of0. 2% and resolution of
0. 1μm can be achieved. The deviation of the robot system is tested and compensated using capacitance senso,r
and the performance of the robot is mi proved.
K ey words:capacitance senso;r signal conditioning circui;t micro-displacementmeasuremen;t robot
0 ,
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、, +、 ;
XY-Table。 , , ,
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1
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1. 1 传感器结构的设计
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: 0. 5m /s,
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±2μm, 1μm。
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, 110Hz,
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±14μm。,
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